[发明专利]一种可改善涂布覆盖不良的光刻胶瓶在审

专利信息
申请号: 201510724265.0 申请日: 2015-10-29
公开(公告)号: CN105292762A 公开(公告)日: 2016-02-03
发明(设计)人: 朱治国;朱骏;陈力钧 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: B65D77/06 分类号: B65D77/06;B65D23/00;B65D47/06
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;陈慧弘
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 改善 覆盖 不良 光刻
【权利要求书】:

1.一种可改善涂布覆盖不良的光刻胶瓶,包括密封的内、外两层,外层为带有接口的光刻胶瓶身,内层为软性内囊,用于容纳光刻胶,一氮气管从接口通入瓶身和内囊之间,一光刻胶导管从接口处插入内囊中,其特征在于,所述瓶身内底部固设有一凹槽形凸起结构,所述内囊下端具有一与所述凸起结构的凹槽侧壁对应的开口,并通过所述开口与凹槽侧壁密封连接,所述光刻胶导管下端伸入所述凸起结构的凹槽内。

2.根据权利要求1所述的光刻胶瓶,其特征在于,所述光刻胶导管下端设有内凹的光刻胶出口。

3.根据权利要求1所述的光刻胶瓶,其特征在于,所述光刻胶导管下端侧壁设有若干光刻胶进口,并在侧壁内略高于所述光刻胶进口位置设有光刻胶出口。

4.根据权利要求3所述的光刻胶瓶,其特征在于,所述光刻胶进口为孔形或向下开口的槽形。

5.根据权利要求3或4所述的光刻胶瓶,其特征在于,所述光刻胶进口环绕所述光刻胶导管下端侧壁均匀设置。

6.根据权利要求3或4所述的光刻胶瓶,其特征在于,所述光刻胶进口的数量为4~8个,环绕所述光刻胶导管下端侧壁对称设置。

7.根据权利要求3所述的光刻胶瓶,其特征在于,所述光刻胶导管下端与瓶身内底部凸起结构的凹槽底部靠近或相接触。

8.根据权利要求3或7所述的光刻胶瓶,其特征在于,所述光刻胶进口的位置低于瓶身内底部凸起结构的凹槽上端。

9.根据权利要求1所述的光刻胶瓶,其特征在于,所述内囊下端开口与瓶身内底部凸起结构的凹槽外侧壁密封连接。

10.根据权利要求1所述的光刻胶瓶,其特征在于,所述光刻胶导管下端设有支脚。

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