[发明专利]稀土金属靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201510729783.1 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN106637100B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王志强;吴道高;张小伟;陈德宏;张虎;程军;杨宏博;杨秉政 | 申请（专利权）人： | 有研稀土新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 稀土金属 及其 制备 方法 | ||
1.一种稀土金属靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
步骤S1，采用水冷坩埚悬浮熔炼方法将稀土金属熔炼成稀土金属熔液；
步骤S2，对所述稀土金属熔液进行下拉铸锭，得到稀土金属铸锭；以及
步骤S3，对所述稀土金属铸锭进行锻造轧制以及机械加工，获得所述稀土金属靶材；
所述步骤S3包括：
步骤S31，将所述稀土金属铸锭加热到预定温度，并在所述预定温度下对所述稀土金属铸锭依次在X轴和Y轴方向上进行自由锻，得到自由锻产物；
步骤S32，对所述自由锻产物进行冷轧，得到冷轧产物；以及
步骤S33，对所述冷轧产物进行热处理以及机械加工，得到所述稀土金属靶材；
其中，所述热处理采用在惰性气氛保护下先淬火后回火的方式进行。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述稀土金属为纯度>99.99wt％的稀土金属。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述稀土金属选自La、Ce、Pr、Nd、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Yb、Y以及Sc中的任意一种。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S1采用悬浮熔炼炉实施，所述悬浮熔炼炉内的压力高于大气压力300～500Pa。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述悬浮熔炼炉内为氩气气氛。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S2在对所述稀土金属熔液进行下拉铸锭的过程中进行超声处理；所述超声处理的步骤中超声波的频率范围为30～40kHz，超声仪的功率小于或等于30kW。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中下拉的速度为0.5～1mm/min。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S31中，所述预定温度为250～550℃。
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S31中，所述稀土金属为La、Ce或Yb，所述预定温度为250～310℃。
10.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S31中，所述稀土金属为Nd或Pr，所述预定温度为300～400℃。
11.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S31中，所述稀土金属为Gd、Tb、Dy、Ho或Er，所述预定温度为350～450℃。
12.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S31中，所述稀土金属为Y或Sc，所述预定温度为400～550℃。
13.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S31中，每次所述自由锻使得所述稀土金属铸锭的变形量大于20％。
14.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S32中，每次所述冷轧的变形量大于15％。
15.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述淬火采用油冷的方式进行。
16.根据权利要求15所述的制备方法，其特征在于，所述淬火的温度为450℃～650℃，所述回火的温度为150℃～300℃，所述回火的时间为1～5h。
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