[发明专利]一种高速激光器芯片制作方法和装置

权利要求书

1.一种高速激光器芯片的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

获取外延片结构中由表层到第一腐蚀停止层的厚度参数；

根据所述厚度参数设置对应所述激光测距器的响应阈值；

将所述外延片置于托盘指定位置；

在启动腐蚀过程后，所述外延片由所述托盘托举着沉浸到所述腐蚀液中；

在所述激光测距器监测到外延片腐蚀区中心厚度达到响应阈值时，触发完成将所述外延片托举出腐蚀液的操作过程。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述指定位置具体为托盘中标注的放置所述外延片的位置，所述指定位置正上方对应着所述激光测距器。

3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，还获取有外延片的厚度以及其表面涂覆的防腐蚀液材料的厚度，则所述将所述外延片置于托盘指定位置后，还包括：

所述激光测距器扫描对应所述指定位置的监测区域，根据所述外延片的厚度以及其表面涂覆的防腐蚀液材料的厚度，确定扫描区域中距离差值满足条件的腐蚀区域，并定位到所述腐蚀区域。

4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述确定扫描区域中距离差值满足条件的腐蚀区域，具体包括：

所述扫描区域由各像素点构成，各像素点对应着激光测距器在相应像素点位置所测量到的距离值；其中，作为目标的测量的距离值满足与周边测量的距离差值等于所述表面涂覆的防腐蚀液材料的厚度，且所述作为目标的测量的距离值等于激光检测器到托盘的距离减去所述外延片的厚度。

5.根据权利要求1-4任一所述的制作方法，其特征在于，置于所述托盘上，参与腐蚀过程的所述外延片具有n片时，其中n为自然数，则所述在所述激光测距器监测到外延片腐蚀区中心厚度达到响应阈值时，具体包括：

对应所述n片外延片的n个激光测距器监测到的外延片腐蚀区中心厚度，以其激光测距器监测到的外延片腐蚀区中心厚度的平均值与所述响应阈值做比较，确认所述平均值是否达到响应阈值。

6.根据权利要求1-4任一所述的制作方法，其特征在于，所述激光测距器上安装有指示灯，具体的：

所述指示灯用于在相应的激光测距器确认其负责监测的外延片腐蚀区中心厚度达到响应阈值时，呈现对应完成的状态。

7.一种高速激光器芯片的制作装置，其特征在于，所述制作装置包括一个或者多个激光测距器、腐蚀液槽、伺服系统和托盘，具体的：

所述伺服系统，用于获取外延片结构中由表层到第一腐蚀停止层的厚度参数；根据所述厚度参数设置对应所述激光测距器的响应阈值；

所述托盘，用于承载外延片；

所述伺服系统，还用于在启动腐蚀过程后，控制所述托盘沉浸到所述腐蚀液槽中；并在接收到所述一个或者多个激光测距器的触发信号时，触发所述伺服系统控制所述托盘完成将所述外延片托举出腐蚀液的操作过程，其中，所述触发信号在所述一个或者多个激光测距器监测到外延片腐蚀区中心厚度达到响应阈值时生成。

8.根据权利要求7所述的制作装置，其特征在于，所述伺服系统还包括服务器，具体的：

所述服务器，用于获取激光测距器扫描对应指定位置的监测区域，根据所述外延片的厚度以及其表面涂覆的防腐蚀液材料的厚度，确定扫描区域中距离差值满足条件的腐蚀区域，并定位到所述腐蚀区域。

9.根据权利要求7或8所述的制作装置，其特征在于，所述腐蚀液槽具体包括两个或者多个槽体；所述托盘具体以吊臂方式固定在工作支架上，其中，所述工作支架还用于固定所述激光测距器。

10.根据权利要求7或8所述的制作装置，其特征在于，所述激光测距器上安装有指示灯，具体的：

所述指示灯用于在相应的激光测距器确认其负责监测的外延片腐蚀区中心厚度达到响应阈值时，呈现对应完成的状态。