[发明专利]大尺寸蓝宝石晶体原位退火工艺

权利要求书

1.一种大尺寸蓝宝石晶体原位退火工艺，其特征是，在泡生法生长蓝宝石晶体完成后，蓝宝石晶体保持原位，保持单晶炉的真空度，退火工艺包括以下五个阶段；

第一阶段：提高加热器功率，以15-20℃/h的速率将单晶炉内的温度升高2-3℃；再降低加热功率，以5-10℃/h的速率将单晶炉内的温度降低3-4℃，保温0.5h；

第二阶段：降低加热功率，以20-25℃/h的速率将单晶炉内的温度降低到1750℃，保温4h；

第三阶段：提高加热功率，以10-15℃/h的速率将单晶炉内的温度提高1-2℃，保温0.5h；再降低加热功率，以3-5℃/h的速率将单晶炉内的温度降低2-3℃，保温0.5h；

第四阶段：降低加热功率，以25-30℃/h的速率将单晶炉内的温度降低到800℃，保温4h；

第五阶段：降低加热功率，以30-40℃/h的速率对单晶炉进行降温，直到加热器功率为零，冷却后取出蓝宝石晶体。

2.根据权利要求1所述的大尺寸蓝宝石晶体原位退火工艺，其特征是，在第一阶段，以0.5-1rpm的速度旋转蓝宝石晶体，第一阶段结束后蓝宝石停止旋转。

3.根据权利要求1或2所述的大尺寸蓝宝石晶体原位退火工艺，其特征是，在第三阶段，以1-1.5rpm的速度旋转蓝宝石晶体。

4.根据权利要求3所述的大尺寸蓝宝石晶体原位退火工艺，其特征是，在第四阶段，以1.5-2.5rpm的速度旋转蓝宝石晶体；在第五阶段，以2.5-4rpm的速度旋转蓝宝石晶体。

5.根据权利要求1所述的大尺寸蓝宝石晶体原位退火工艺，其特征是，在第五阶段，加热器功率为零时，通入惰性气体，快速冷却至室温。

6.根据权利要求5所述的大尺寸蓝宝石晶体原位退火工艺，其特征是，所述的惰性气体为氩气，其压力值为1.2-1.5个大气压。