[发明专利]气体激光装置在审
申请号: | 201510750909.3 | 申请日: | 2015-11-04 |
公开(公告)号: | CN105610037A | 公开(公告)日: | 2016-05-25 |
发明(设计)人: | 松田宗和;高实哲久 | 申请(专利权)人: | 发那科株式会社 |
主分类号: | H01S3/036 | 分类号: | H01S3/036;H01S3/097 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气体 激光 装置 | ||
1.一种气体激光装置,具备将激光气体作为介质来振荡出激光的气体 激光振荡器,该气体激光装置的特征在于,具备:
气体容器,其容纳上述激光气体;
供给配管,其形成从上述气体激光振荡器的外部向上述气体容器供给的 上述激光气体的供给路径;
压力传感器,其检测上述供给配管内的压力;
供给控制阀,其控制从上述供给配管向上述气体容器供给的上述激光气 体的供给量;以及
控制装置,其控制上述供给控制阀的开闭动作,
其中,上述控制装置具备:
压力获取部,其通过上述压力传感器来获取上述供给配管内的压力值;
压力变化计算部,其基于在关闭上述供给控制阀来使上述供给配管密闭 的状态下由上述压力获取部在规定时间内多次获取的压力值,来计算上述供 给配管内的压力变化;以及
气密性判定部,其基于由上述压力变化计算部计算的上述压力变化,来 判定上述供给配管的气密性是否良好。
2.根据权利要求1所述的气体激光装置,其特征在于,
上述压力变化计算部构成为:基于在上述规定时间内最初获取的至少一 个压力值与在上述规定时间内最后获取的至少一个压力值之差,来计算上述 压力变化。
3.根据权利要求1所述的气体激光装置,其特征在于,
上述压力变化计算部构成为:基于获取的多个压力值,通过回归分析来 计算上述压力变化。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的气体激光装置,其特征在于,
上述控制装置还具备:
显示部,其显示由上述压力获取部获取的上述压力值或由上述压力变化 计算部计算的上述压力变化;以及
警告通知部,其在由上述压力变化计算部计算的上述压力变化超过预先 决定的阈值时通知警告。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的气体激光装置,其特征在于,
该气体激光装置还具备排出控制阀,该排出控制阀使激光气体不通过上 述气体容器而从上述供给配管向上述气体激光振荡器的外部排出,
上述控制装置还具备排出阀控制部,该排出阀控制部构成为:在由上述 压力变化计算部计算的上述压力变化超过预先决定的阈值的情况下,在上述 气体激光振荡器的启动时将上述排出控制阀打开预先决定的时间。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的气体激光装置,其特征在于,
上述控制装置还具备保持部,该保持部不从外部接受电力供给而保持由 上述压力获取部获取的压力值和获取到该压力值的时刻,
上述压力变化计算部构成为:在来自外部的电力供给重新开始时,基于 由上述保持部保持的上述压力值和上述时刻来计算上述压力变化。
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