[发明专利]气体激光装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种具备将激光气体作为介质来振荡出激光的气体激光振 荡器的气体激光装置。

背景技术

气体激光振荡器通过在气体容器内引发放电来激励激光气体，从而振荡 出激光。从气体激光振荡器的外部通过供给配管向气体容器内供给激光气 体。另外，已知在这种气体激光振荡器中，由于激光气体中混入水分或者激 光气体的成分从气体容器或供给配管漏出，而激光输出下降。因此，为了保 证稳定的激光输出，需要检查气体容器和供给配管的气密性。

一般来说，在排出气体容器内的气体之后的真空状态下执行气体容器的 密闭性检查。例如，在日本特开2002-319724号公报中公开了以下内容：在 排出气体容器内的气体之后使气体容器密闭，每隔规定时间测定气体容器内 的压力，由此自动地检查气体容器的气密性。

另一方面，为了检查激光气体的供给配管的气密性，而对供给配管加压 之后使供给配管的内部空间密闭并检测供给配管内的压力下降，这种方法是 公知的。一般来说，作业者读取附属于激光气体供给装置的调节器的压力计 的数值来计算供给配管内的压力下降。

在日本特开平4-80979号公报和国际公开第2013/171951号中公开了以 下内容：为了防止由于气体激光振荡器停止时的激光气体成分的漏出或者杂 质的混入而导致激光输出变得不稳定的问题，暂时将供给配管内的气体排出 到气体激光振荡器的外部。

由于真空用(负压用)的气密设计和加压用的气密设计是不同的，因此如 日本特开2002-319724号公报所记载的那样的检查气体容器的气密性的方法 无法应用于在加压状态下使用的供给配管。

在通过读取调节器的压力计的数值来检查供给配管的压力下降的方法 中，需要作业者通过目视来测定压力值以计算压力下降量，作业效率低。另 外，一般在调节器中使用的布尔登管(BourdonTube)式压力计的检测分辨率 约为10kPa，直到产生能够检测的10kPa的压力下降为止需要等待长时间、例 如8小时以上。

因而，寻求一种能够在短时间内且自动地执行激光气体的供给配管的气 密性检查的气体激光装置。

发明内容

根据第一发明，提供一种具备将激光气体作为介质来振荡出激光的气体 激光振荡器的气体激光装置，该气体激光装置的特征在于，具备：气体容器， 其容纳上述激光气体；供给配管，其形成从上述气体激光振荡器的外部向上 述气体容器供给的上述激光气体的供给路径；压力传感器，其检测上述供给 配管内的压力；供给控制阀，其控制从上述供给配管向上述气体容器供给的 上述激光气体的供给量；以及控制装置，其控制上述供给控制阀的开闭动作， 其中，上述控制装置具备：压力获取部，其通过上述压力传感器来获取上述 供给配管内的压力值；压力变化计算部，其基于在关闭上述供给控制阀来使 上述供给配管密闭的状态下由上述压力获取部在规定时间内多次获取的压 力值，来计算上述供给配管内的压力变化；以及气密性判定部，其基于由上 述压力变化计算部计算的上述压力变化，来判定上述供给配管的气密性是否 良好。

根据第二发明，在第一发明所涉及的气体激光装置中，上述压力变化计 算部构成为：基于在上述规定时间内最初获取的至少一个压力值与在上述规 定时间内最后获取的至少一个压力值之差，来计算上述压力变化。

根据第三发明，在第一发明所涉及的气体激光装置中，上述压力变化计 算部构成为：基于获取的多个压力值，通过回归分析来计算上述压力变化。

根据第四发明，在第一发明至第三发明中的任一发明所涉及的气体激光 装置中，上述控制装置还具备：显示部，其显示由上述压力获取部获取的上 述压力值或由上述压力变化计算部计算的上述压力变化；以及警告通知部， 其在由上述压力变化计算部计算的上述压力变化超过预先决定的阈值时通 知警告。

根据第五发明，在第一发明至第四发明中的任一发明所涉及的气体激光 装置中，该气体激光装置还具备排出控制阀，该排出控制阀使激光气体不通 过上述气体容器而从上述供给配管向上述气体激光振荡器的外部排出，上述 控制装置还具备排出阀控制部，该排出阀控制部构成为：在由上述压力变化 计算部计算的上述压力变化超过预先决定的阈值的情况下，在上述气体激光 振荡器的启动时将上述排出控制阀打开预先决定的时间。