[发明专利](酰胺氨基烷烃)金属化合物及使用所述金属化合物制备含金属的薄膜的方法

权利要求书

1.一种由式(1)表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物：

其中

M代表镁或锰；

R¹代表异丙基或叔丁基；

R²和R³代表甲基；

Z代表亚乙基；且

n代表配位体的个数，与金属(M)的化合价相等，并且代表2；

条件是两个配位体可以彼此相同或不同。

2.一种制备权利要求1中所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物的方法，所述金属化合物由下式 (1)表示：

其中M,R¹,R²,R³,Z和n定义如上；

所述方法包括以下步骤：

使由式(2a)或(2b)表示的单烷基金属化合物或二烷基金属化合物与由式(3)表示的 二氨基烷烃化合物反应：

所述式(2a)或(2b)为：

R⁴M(2a)

R⁴R⁵M(2b)

其中

M代表镁或锰；且

R⁴和R⁵可以彼此相同或不同，并且各自独立地代表具有1-10个碳原子的直链或支链的烷 基；

所述式(3)为：

其中R¹,R²,R³和Z定义如上。

3.一种制备权利要求1中所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物的方法，所述金属化合物由下式 (1)表示：

其中M,R¹,R²,R³,Z和n定义如上；

所述方法包括以下步骤：

使由式(4a)表示的烷基碱金属化合物或碱金属与由式(3)表示的二氨基烷烃化合物反 应，形成由式(5)表示的(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物：

所述式(4a)为：

R⁴A(4a)

其中

R⁴代表具有1-10个碳原子的直链或支链的烷基；且

A代表碱金属原子；

所述式(3)为：

其中R¹,R²,R³和Z定义如上；

所述式(5)为：

其中R¹,R²,R³,A和Z定义如上；以及

使所述(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物与由下式(6)表示的金属卤化物反应：

MX_n(6)

其中

M代表镁或锰；

X代表卤素原子；且

n代表卤素原子的个数，与金属(M)的化合价相等，并且代表2。

4.一种制备权利要求1中所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物的方法，所述金属化合物由下式 (1)表示：

其中

R¹,R²,R³,M,Z和n定义如上；

所述方法包括以下步骤：

使由式(7)表示的金属与由式(3)表示的二氨基烷烃化合物反应：

所述式(7)为：

M(7)

其中

M代表镁或锰；

所述式(3)为：

其中R¹,R²,R³和Z定义如上。

5.一种通过化学气相沉积法制备含金属的薄膜的方法，其中使用权利要求1中所述的(酰 胺氨基烷烃)金属化合物作为来源。

6.一种用于形成含金属的薄膜的材料，包括权利要求1中所述的(酰胺氨基烷烃)金属化合 物。