[发明专利]一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置在审
申请号: | 201510799241.1 | 申请日: | 2015-11-19 |
公开(公告)号: | CN105352615A | 公开(公告)日: | 2016-02-24 |
发明(设计)人: | 刘向平;杨翠柏;方聪;张杨;张露;靳恺;王雷 | 申请(专利权)人: | 中山德华芯片技术有限公司 |
主分类号: | G01K1/14 | 分类号: | G01K1/14 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 梁莹 |
地址: | 528437 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 调节 外延 测温 探头 位置 无级 可调 装置 | ||
1.一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置,其特征在于:包括有探测口法兰盖、探头安装座、探头调节架、探头调节螺杆、螺杆安装板,其中,所述探测口法兰盖安装在用于生长外延片的MOCVD反应腔室的顶部,处于该MOCVD反应腔室内部托盘的上方,所述探测口法兰盖上开有观察窗,供测温仪探头能够在不同位置都可探测到托盘上晶圆片的情况,所述探头安装座滑动安装在探测口法兰盖上,并可在观察窗的长度方向上自由滑动,所述测温仪探头垂直安装在该探头安装座的探头安装位处,能透过观察窗探测到托盘上相应晶圆片的情况,并能够随探头安装座一起滑动,所述探头调节架上贯通有带内螺纹的通孔,该通孔上的内螺纹与探头调节螺杆相适配,所述探头调节架与探头安装座固定相连,能随该探头安装座一起滑动,所述螺杆安装板竖直安装在探测口法兰盖上,所述探头调节螺杆的一端横穿该螺杆安装板后伸进上述探头调节架的通孔中,与该探头调节架构成螺母丝杆机构,且所述探头调节螺杆上装配有配合螺杆安装板用的限位件,用于限制该探头调节螺杆在调节时轴向移动,通过旋转所述探头调节螺杆,能使得所述探头安装座及装于该探头安装座上的测温仪探头在观察窗的长度方向上一起滑动,进而实现对测温仪探头位置的无级可调。
2.根据权利要求1所述的一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置,其特征在于:所述探头安装座上设置有螺钉安装孔,能够采用螺钉通过该螺钉安装孔将探头安装座固定在探测口法兰盖上。
3.根据权利要求1所述的一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置,其特征在于:所述限位件为卡簧,该卡簧装于探头调节螺杆上的环形凹槽处,通过卡簧与螺杆安装板的配合限位,能避免探头调节螺杆在调节时轴向移动。
4.根据权利要求1或2所述的一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置,其特征在于:所述探头安装座横跨于观察窗的上方。
5.根据权利要求1所述的一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置,其特征在于:所述观察窗为长矩形结构。
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