[发明专利]一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置

说明书

技术领域

本发明涉及MOCVD外延片测温仪探头位置调节的技术领域，尤其是指一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置。

背景技术

业内习知，现有MOCVD设备外延片测温仪探头的安装位置是固定的，如果托盘所放置的晶圆片的位置和数量发生变化，由于探头位置固定，则探头极有可能因测量不到外延片上的的正确位置而导致测量数据不准确，从而影响对MOCVD反应腔室的实际监控。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足与缺点，提供一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，能有效实现对测温仪安装位置的无级精确调节。

为实现上述目的，本发明所提供的技术方案为：一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，包括有探测口法兰盖、探头安装座、探头调节架、探头调节螺杆、螺杆安装板，其中，所述探测口法兰盖安装在用于生长外延片的MOCVD反应腔室的顶部，处于该MOCVD反应腔室内部托盘的上方，所述探测口法兰盖上开有观察窗，供测温仪探头能够在不同位置都可探测到托盘上晶圆片的情况，所述探头安装座滑动安装在探测口法兰盖上，并可在观察窗的长度方向上自由滑动，所述测温仪探头垂直安装在该探头安装座的探头安装位处，能透过观察窗探测到托盘上相应晶圆片的情况，并能够随探头安装座一起滑动，所述探头调节架上贯通有带内螺纹的通孔，该通孔上的内螺纹与探头调节螺杆相适配，所述探头调节架与探头安装座固定相连，能随该探头安装座一起滑动，所述螺杆安装板竖直安装在探测口法兰盖上，所述探头调节螺杆的一端横穿该螺杆安装板后伸进上述探头调节架的通孔中，与该探头调节架构成螺母丝杆机构，且所述探头调节螺杆上装配有配合螺杆安装板用的限位件，用于限制该探头调节螺杆在调节时轴向移动，通过旋转所述探头调节螺杆，能使得所述探头安装座及装于该探头安装座上的测温仪探头在观察窗的长度方向上一起滑动，进而实现对测温仪探头位置的无级可调。

所述探头安装座上设置有螺钉安装孔，能够采用螺钉通过该螺钉安装孔将探头安装座固定在探测口法兰盖上。

所述限位件为卡簧，该卡簧装于探头调节螺杆上的环形凹槽处，通过卡簧与螺杆安装板的配合限位，能避免探头调节螺杆在调节时轴向移动。

所述探头安装座横跨于观察窗的上方。

所述观察窗为长矩形结构。

本发明与现有技术相比，具有如下优点与有益效果：

本发明能够无级精调探头位置，并可固定测温仪探头，从而适应托盘放置不同数量晶圆片和变更晶圆片放置位置的需求，很好地克服了现有MOCVD设备因测温仪探头安装位置固定而导致的无法适应托盘内晶圆片数量和位置变化的问题。

附图说明

图1为本发明所述无级可调装置的安装示意图。

图2为本发明所述无级可调装置安装在MOCVD反应腔室上后的整体剖视图。

图3为本发明所述无级可调装置安装后的俯视图。

图4为图3的A局部放大图。

图5为图3的B局部放大图。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步说明。