[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，具备：

传感器元件；

支承基板，其一个面上配置有所述传感器元件，且所述支承基板具有设 置于所述一个面上的槽；

配线，其设置于所述槽中，并与所述传感器元件电连接；

盖基板，其与所述一个面接合，并对所述传感器元件进行收纳；

密封材料，其在所述槽中的、所述盖基板与所述支承基板间的边界部对 所述槽进行密封，且所述密封材料熔点低于所述支承基板以及所述盖基板的 熔点或者软化点。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

在所述盖基板上，形成有贯通孔，所述贯通孔在厚度方向上贯通，并与 所述槽连通，在由所述贯通孔形成的所述边界部处，通过所述密封材料而对 所述槽进行密封。

3.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，

所述密封材料对所述贯通孔以及所述槽总括在一起进行密封。

4.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，

所述槽被设置有多个，

所述贯通孔在所述盖基板的俯视观察时分别与多个所述槽交叉。

5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述密封材料被配置于所述盖基板的所述边界部、且为边缘部的位置。

6.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述密封材料包含金属材料或者低熔点玻璃材料。

7.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

具有对所述配线的表面进行覆盖的绝缘层。

8.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1至7中的任一项所述的物理量传感器。

9.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1至7中的任一项所述的物理量传感器。