[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

一直以来，已知一种对角速度或加速度等的物理量进行检测的物理量传 感器(例如，专利文献1)。

专利文献1所记载的物理量传感器为一种电容型加速度传感器，所述电 容型加速度传感器具备惯性质量体、可动电极、固定电极、配线、对这些部 件进行支承的基板、设置于基板的上表面侧且具有对惯性质量体、可动电极 以及固定电极进行收纳的凹部的上表面保护基板、设置于基板的下表面侧的 下表面保护基板。

在物理量传感器中，配线被设置于基板的上表面侧。另外，上表面保护 基板在俯视观察时的大小与基板相比而较小。因此，上表面保护基板以跨越 配线的方式隔着配线而与基板接合，配线的一部分成为被引出至上表面保护 基板的外侧的结构。

另外，至少配线的基板以及上表面保护基板被接合在一起的部分被绝缘 层覆盖。由此，配线与基板以及上表面保护基板形成非接触。

但是，使配线以及绝缘膜平坦地形成是比较困难的。因此，在专利文献 1所记载的物理量传感器中，难以使上表面保护基板与基板气密接合。因此， 凹部的气密性不足。

如此，在设为将配线向上表面保护基板的外侧引出的结构时，难以对惯 性质量体、可动电极以及固定电极等进行气密密封。

专利文献1：日本特开2005－249454号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够容易地对传感器元件进行气密密封的物 理量传感器、电子设备以及移动体。

这种目的通过下述的本发明而被实现。

应用例1

本发明的物理量传感器的特征在于，具备：传感器元件；支承基板，其 一个面上配置有所述传感器元件，且所述支承基板具有设置于所述一个面上 的槽；配线，其被设置于所述槽中，并与所述传感器元件电连接；盖基板， 其与所述一个面接合，并对所述传感器元件进行收纳；密封材料，其在所述 槽中的、所述盖基板与所述支承基板间的边界部对所述槽进行密封，且所述 密封材料的熔点低于所述支承基板以及所述盖基板的熔点或者软化点。

由此，通过在形成于支承基板的槽上配置配线，从而能够将配线向盖基 板的外侧引出，并且，能够利用它们所具有的平坦性而对盖基板以及支承基 板进行气密接合。

另外，通过对位于盖基板和支承基板的边界部的槽进行局部密封，从而 能够确保盖基板的内侧的气密性。

因此，根据本发明，即使配线被向盖基板的外侧引出，也能够容易地对 收纳有传感器元件的空间进行气密密封。

应用例2

在本发明的物理量传感器中，优选为，在所述盖基板上形成有贯通孔， 所述贯通孔在厚度方向上贯通，并与所述槽连通，在由所述贯通孔形成的所 述边界部处，通过所述密封材料而对所述槽进行密封。

由此，通过贯通孔，能够将密封材料容易地填充于槽内。因此，能够更 加容易地对收纳有传感器元件的空间进行密封。

应用例3

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述密封材料对所述贯通孔以及 所述槽总括在一起进行密封。

由此，能够进一步提高收纳有传感器元件的空间的气密性，物理量传感 器的可靠性优异。

应用例4

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述槽被设置有多个，

所述贯通孔在所述盖基板的俯视观察时分别与多个所述槽交叉。

由此，即使在槽被设置有多个的情况下，也能够对所述贯通孔以及所述 槽总括在一起进行密封。

应用例5

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述密封材料为所述盖基板的所 述边界部，且被配置于作为边缘部的位置。

由此，能够从盖基板的边缘部起将密封材料填充于槽内。因此，能够更 加容易地对收纳有传感器元件的空间进行密封。

应用例6

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述密封材料包含金属材料或者 低熔点玻璃材料。

由此，能够提高收纳有传感器元件的空间的气密性，物理量传感器的可 靠性更加优异。

应用例7

在本发明的物理量传感器中，优选为，具有对所述配线的表面进行覆盖 的绝缘层。

由此，即使密封材料具有导电性，也能够防止多个配线短路的情况。