[发明专利]分光传感器以及角度限制滤光器

权利要求书

1.一种角度限制滤光器，其包括：

第一遮光层，其包含第一遮光性材料，且设置有第一开口部；

第二遮光层，其包含第二遮光性材料，且位于包围所述第一遮光层的区域内,

所述第一遮光层与所述第二遮光层的端面相接。

2.如权利要求1所述的角度限制滤光器，其中，

所述第一遮光层设置有多个所述第一开口部，且包括：第一部分，其位于邻接的两个所述第一开口部之间；第二部分，其位于所述第一部分以及多个所述第一开口部的所述第二遮光层侧，

所述第二遮光层的端面位于所述第一遮光层的所述第二部分的宽度的中央，且被所述第一遮光层覆盖。

3.如权利要求2所述的角度限制滤光器，其中，

与所述第一部分的宽度相比，所述第二部分的宽度较宽。

4.如权利要求1所述的角度限制滤光器，其中，

所述第一遮光性材料的反射率低于所述第二遮光性材料的反射率。

5.如权利要求1所述的角度限制滤光器，其中，

所述第一遮光层由反射率低于铝的材料构成。

6.如权利要求1所述的角度限制滤光器，其中，

所述第一遮光层由钨、氮化钛、钛钨、钛、钽、氮化钽、铬、钼中的任意一种材料构成。

7.如权利要求1所述的角度限制滤光器，其中，

所述第二遮光层由铝合金或铜合金构成。

8.一种角度限制滤光器，其在半导体芯片上排列有多个权利要求1至权利要求7中任一项所述的角度限制滤光器。

9.一种分光传感器，其具备：

权利要求1至权利要求8中任一项所述的角度限制滤光器；

波长限制滤光器，其对能够穿过所述角度限制滤光器的光的波长进行限制；

受光元件，其对穿过了所述角度限制滤光器以及所述波长限制滤光器的光进行检测。