[发明专利]分光传感器以及角度限制滤光器

说明书

本申请为，申请号为201210071529.3、申请日为2012年3月16日、发明名称为分光传感器以及角度限制滤光器的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种分光传感器以及角度限制滤光器。

背景技术

在医疗、农业、环境等领域中，为了实施对对象物的诊断和检查而使用分光传感器。例如，在医疗领域中，使用利用血红素的光吸收而对血氧饱和度进行测定的脉搏氧饱和度仪。此外，在农业领域中，使用利用糖分的光吸收而对果实的糖度进行测定的糖度计。

下述的专利文献1中，公开了一种光谱成像传感器，其通过对干涉滤光片和光电转换元件之间进行光学连接的光纤而对入射角度进行限制，从而对向光电转换元件的透过波长频带进行限制。

但是，现有的分光传感器中，存在难以实现小型化的课题。因此，难以将传感器在所需位置处设置多个、或进行常时设置等。

专利文献1：日本特开平6-129908号公报

发明内容

本发明为鉴于如上所述的技术课题而完成的。本发明的几个方式涉及使分光传感器以及角度限制滤光器小型化的内容。

本发明的几个方式中，角度限制滤光器包括：第一遮光层，其包含第一遮光性材料，且设置有第一开口部；第二遮光层，其包含第二遮光性材料，且位于至少部分包围第一遮光层的区域内；第三遮光层，其包含第一遮光性材料，且设置有至少部分与第一开口部重合的第二开口部，并且位于第一遮光层的上方；第四遮光层，其包含第二遮光性材料，并且位于至少部分包围第三遮光层的区域内且第二遮光层的上方。

根据该方式，通过由遮光层来形成光路的结构，从而能够实现微细的图案的形成，进而能够实现小型的角度限制滤光器的制造。此外，由于在包围第一遮光层的区域以及包围第三遮光层的区域内分别具有第二遮光层以及第四遮光层，因此能够实现表面的平坦性较高的角度限制滤光器的制造。

在上述的方式中，优选为，第一遮光层与第二遮光层的端面相接，并且第三遮光层与第四遮光层的端面相接。

根据该方式，能够抑制光从第一遮光层和第二遮光层之间、以及第三遮光层和第四遮光层之间穿过的情况。此外，在这些遮光层为导体的情况下，能够在这些遮光层之间实现电导通。

在上述的方式中，优选为，第一遮光层设置有多个第一开口部，且包括：第一部分，其位于邻接的两个第一开口部之间；第二部分，其位于第一部分以及多个第一开口部的第二遮光层侧，并且，第二遮光层的端面位于第一遮光层的第二部分的宽度的中央，且被第一遮光层覆盖。

根据该方式，由于第二遮光层的端面位于第一遮光层的第二部分的宽度的中央，因此能够防止第二遮光层露出于光路内。此外，在这些遮光层为导体的情况下，能够更加可靠地在这些遮光层之间实现电导通。

在上述的方式中，还可以采用如下方式，即，在第一遮光层和第三遮光层之间空出有间隙，并且第一遮光层和第三遮光层两者均与第四遮光层的一部分相接。

根据该方式，即使在第一遮光层和第三遮光层之间空出有间隙，也能够通过使第四遮光层介于两者之间而实现电导通。

在上述的方式中，优选为，第一遮光材料的反射率低于第二遮光材料的反射率。

此外，优选为，第一遮光层以及第三遮光层由反射率低于铝的物质构成。

根据该方式，通过由光的反射率较低的物质构成遮光层，从而能够减少与光路的壁面碰撞而在光路内穿过的光。因此，即使是小型的角度限制滤光器，也能够使超过限制角度范围的入射角的光不易在光路内穿过。

本发明的其他的方式中，分光传感器具备：上述的角度限制滤光器；波长限制滤光器，其对能够穿过角度限制滤光器的光的波长进行限制；受光元件，其对穿过了角度限制滤光器以及波长限制滤光器的光进行检测。

根据该方式，由于使用上述的角度限制滤光器，因此能够实现小型的分光传感器的制造。此外，即使不形成用于使波长限制滤光器倾斜的倾斜结构体，也能够通过使角度限制滤光器的光路倾斜，而选择透射光的波长。

另外，上方是指，以基板的表面为基准而与朝向背面的方向相反的方向。

附图说明

图1为表示第一实施方式所涉及的角度限制滤光器以及分光传感器的图。

图2为表示第一实施方式所涉及的角度限制滤光器以及分光传感器的剖视图。

图3为表示第一实施方式所涉及的角度限制滤光器的形成工序的剖视图。

图4为表示第二实施方式所涉及的角度限制滤光器以及配线层的一部分的剖视图。