[发明专利]具有防涡流门扇的基板处理装置及其制造方法

权利要求书

1.一种具有防涡流门扇的基板处理装置，包括：

腔室主体(100)，以圆筒形状构成；

门扇(200)，以曲面形状构成，以用于开闭所述腔室主体(100)的一侧开口部(110)；

门扇开闭驱动部(300)，提供驱动力，该驱动力使所述门扇(200)沿相对于所述腔室主 体(100)的外侧面垂直的方向移动，以在所述开口部(110)使所述门扇(200)开闭。

2.如权利要求1所述的具有防涡流门扇的基板处理装置，其特征在于，所述门扇(200) 的曲率等于所述腔室主体(100)的曲率。

3.如权利要求1所述的具有防涡流门扇的基板处理装置，其特征在于，所述门扇(200) 的曲率大于所述腔室主体(100)的曲率。

4.如权利要求1所述的具有防涡流门扇的基板处理装置，其特征在于，在所述门扇 (200)中，朝向所述腔室主体(100)的内侧面形成有凹陷的密封件插槽(210)，所述密封件插 槽(210)中插入有密封件(220)，当所述门扇(200)封闭所述开口部(110)时，所述密封件 (220)紧贴于所述腔室主体(100)而维持气密性。

5.如权利要求4所述的具有防涡流门扇的基板处理装置，其特征在于，所述门扇(200) 以如下方式形成：

在平板形状的板上加工出所述密封件插槽(210)，然后通过弯曲加工而形成为曲面。

6.如权利要求1所述的具有防涡流门扇的基板处理装置，其特征在于，所述门扇开闭驱 动部(300)包括：

第一驱动部(310)，使所述门扇(200)沿相对于所述腔室主体(100)的外侧面垂直的方 向移动；

第二驱动部(320)，使所述门扇(200)沿相对于所述腔室主体(100)的外侧面平行的方 向移动。

7.一种基板处理装置的制造方法，用于制造包含如下构造要素的基板处理装置：

腔室主体(100)，以圆筒形状构成；

门扇(200)，以曲面形状构成，以用于开闭所述腔室主体(100)的一侧开口部(110)；

门扇开闭驱动部(300)，提供驱动力，该驱动力使所述门扇(200)沿相对于所述腔室主 体(100)的外侧面垂直的方向移动，以在所述开口部(110)使所述门扇(200)开闭，

其中，根据如下步骤制造所述门扇(200)：

步骤a，在平板形状的板上的朝向所述腔室主体(100)的内侧面形成凹陷的密封件插槽 (210)；

步骤b，通过弯曲加工而将形成有所述密封件插槽(210)的板成型为曲面；

步骤c，将密封件(220)插入到所述密封件插槽(210)。

8.如权利要求7所述的基板处理装置的制造方法，其特征在于，所述步骤b的弯曲加工 以如下方式执行：

使所述门扇(200)的曲率等于所述腔室主体(100)的曲率。

9.如权利要求7所述的基板处理装置的制造方法，其特征在于，所述步骤b的弯曲加工 以如下方式执行：

所述门扇(200)的曲率大于所述腔室主体(100)的曲率。