[发明专利]二维纳米伺服平台

权利要求书

1.一种二维纳米伺服平台，其特征在于，包括：

基座；

终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；

X向驱动器和Y向驱动器；

第一X向刚性连接件和第一Y向刚性连接件，所述第一X向刚性连接件沿X向延伸且与所述X向驱动器相连，所述第一Y向刚性连接件沿Y向延伸且与所述Y向驱动器相连；

第一Y向柔性解耦件和第一X向柔性解耦件，所述第一Y向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述第一X向刚性连接件相连，所述第一X向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述第一Y向刚性连接件相连；

第二X向刚性连接件和第二Y向刚性连接件，所述第二X向刚性连接件沿X向延伸且与所述第一X向刚性连接件刚性连接，所述第二Y向刚性连接件沿Y向延伸且与所述第一Y向刚性连接件刚性连接；

第二Y向柔性解耦件和第二X向柔性解耦件，所述第二Y向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述第二X向刚性连接件相连，所述第二X向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述第二Y向刚性连接件相连；

第一X向柔性导向件和第二X向柔性导向件，所述第一X向柔性导向件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述第一X向刚性连接件相连，所述第二X向柔性导向件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述第二X向刚性连接件相连；以及

第一Y向柔性导向件和第二Y向柔性导向件，所述第一Y向柔性导向件沿X向延伸且分别与所述基座和所述第一Y向刚性连接件相连，所述第二Y向柔性导向件沿X向延伸且分别与所述基座和所述第二Y向刚性连接件相连。

2.根据权利要求1所述的二维纳米伺服平台，其特征在于，所述第一X向柔性导向件设在所述第一Y向柔性解耦件的下方且在上下方向上与所述第一Y向柔性解耦件相对，所述第二X向柔性导向件设在所述第二Y向柔性解耦件的下方且在上下方向上与所述第二Y向柔性解耦件相对，所述第一Y向柔性导向件设在所述第一X向柔性解耦件的下方且在上下方向上与所述第一X向柔性解耦件相对，所述第二Y向柔性导向件设在所述第二X向柔性解耦件的下方且在上下方向上与所述第二X向柔性解耦件相对。

3.根据权利要求1所述的二维纳米伺服平台，其特征在于，所述第一X向刚性连接件、所述第二X向刚性连接件、所述第一Y向刚性连接件和所述第二Y向刚性连接件中的每一个均包括交叉设置的X向部和Y向部，

所述第一Y向柔性解耦件的第一端与所述第一X向刚性连接件的Y向部相连且第二端与所述终端平台相连，所述第二Y向柔性解耦件的第一端与所述第二X向刚性连接件的Y向部相连且第二端与所述终端平台相连，

所述第一X向柔性解耦件的第一端与所述第一Y向刚性连接件的X向部相连且第二端与所述终端平台相连，所述第二X向柔性解耦件的第一端与所述第二Y向刚性连接件的X向部相连且第二端与所述终端平台相连。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的二维纳米伺服平台，其特征在于，进一步包括：

第三X向柔性导向件和第四X向柔性导向件，所述第三X向柔性导向件和所述第一X向柔性导向件沿X向间隔开地设置，所述第三X向柔性导向件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述第一X向刚性连接件相连，所述第四X向柔性导向件和所述第二X向柔性导向件沿X向间隔开地设置，所述第四X向柔性导向件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述第二X向刚性连接件相连；以及

第三Y向柔性导向件和第四Y向柔性导向件，所述第三Y向柔性导向件和所述第一Y向柔性导向件沿Y向间隔开地设置，所述第三Y向柔性导向件沿X向延伸且分别与所述基座和所述第一Y向刚性连接件相连，所述第四Y向柔性导向件和所述第二Y向柔性导向件沿Y向间隔开地设置，所述第四Y向柔性导向件沿X向延伸且分别与所述基座和所述第二Y向刚性连接件相连。