[发明专利]二维纳米伺服平台

说明书

技术领域

本发明涉及一种高效稳定的二维纳米伺服平台。

背景技术

现有的二维纳米伺服平台的解耦件是柔性的，其中一个方向上的刚度比较小，因此解耦件不能承受过大的压力。但是，现有的二维纳米伺服平台在运动过程中，不可避免地存在一个方向上的解耦件同时受压，这大大限制了终端平台大行程运动的发展。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明提出一种具有动态稳定性好、使用效率高的优点的二维纳米伺服平台。

根据本发明实施例的二维纳米伺服平台包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向刚性连接件和第一Y向刚性连接件，所述第一X向刚性连接件沿X向延伸且与所述X向驱动器相连，所述第一Y向刚性连接件沿Y向延伸且与所述Y向驱动器相连；第一Y向柔性解耦件和第一X向柔性解耦件，所述第一Y向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述第一X向刚性连接件相连，所述第一X向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述第一Y向刚性连接件相连；第二X向刚性连接件和第二Y向刚性连接件，所述第二X向刚性连接件沿X向延伸且与所述第一X向刚性连接件刚性连接，所述第二Y向刚性连接件沿Y向延伸且与所述第一Y向刚性连接件刚性连接；第二Y向柔性解耦件和第二X向柔性解耦件，所述第二Y向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述第二X向刚性连接件相连，所述第二X向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述第二Y向刚性连接件相连；第一X向柔性导向件和第二X向柔性导向件，所述第一X向柔性导向件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述第一X向刚性连接件相连，所述第二X向柔性导向件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述第二X向刚性连接件相连；以及第一Y向柔性导向件和第二Y向柔性导向件，所述第一Y向柔性导向件沿X向延伸且分别与所述基座和所述第一Y向刚性连接件相连，所述第二Y向柔性导向件沿X向延伸且分别与所述基座和所述第二Y向刚性连接件相连。

因此，根据本发明实施例的二维纳米伺服平台具有动态稳定性好、使用效率高的优点。

另外，根据本发明上述实施例的二维纳米伺服平台还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，所述第一X向柔性导向件设在所述第一Y向柔性解耦件的下方且在上下方向上与所述第一Y向柔性解耦件相对，所述第二X向柔性导向件设在所述第二Y向柔性解耦件的下方且在上下方向上与所述第二Y向柔性解耦件相对，所述第一Y向柔性导向件设在所述第一X向柔性解耦件的下方且在上下方向上与所述第一X向柔性解耦件相对，所述第二Y向柔性导向件设在所述第二X向柔性解耦件的下方且在上下方向上与所述第二X向柔性解耦件相对。

根据本发明的一个实施例，所述第一X向刚性连接件、所述第二X向刚性连接件、所述第一Y向刚性连接件和所述第二Y向刚性连接件中的每一个均包括交叉设置的X向部和Y向部，所述第一Y向柔性解耦件的第一端与所述第一X向刚性连接件的Y向部相连且第二端与所述终端平台相连，所述第二Y向柔性解耦件的第一端与所述第二X向刚性连接件的Y向部相连且第二端与所述终端平台相连，所述第一X向柔性解耦件的第一端与所述第一Y向刚性连接件的X向部相连且第二端与所述终端平台相连，所述第二X向柔性解耦件的第一端与所述第二Y向刚性连接件的X向部相连且第二端与所述终端平台相连。

根据本发明的一个实施例，所述二维纳米伺服平台进一步包括：第三X向柔性导向件和第四X向柔性导向件，所述第三X向柔性导向件和所述第一X向柔性导向件沿X向间隔开地设置，所述第三X向柔性导向件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述第一X向刚性连接件相连，所述第四X向柔性导向件和所述第二X向柔性导向件沿X向间隔开地设置，所述第四X向柔性导向件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述第二X向刚性连接件相连；以及第三Y向柔性导向件和第四Y向柔性导向件，所述第三Y向柔性导向件和所述第一Y向柔性导向件沿Y向间隔开地设置，所述第三Y向柔性导向件沿X向延伸且分别与所述基座和所述第一Y向刚性连接件相连，所述第四Y向柔性导向件和所述第二Y向柔性导向件沿Y向间隔开地设置，所述第四Y向柔性导向件沿X向延伸且分别与所述基座和所述第二Y向刚性连接件相连。