[发明专利]一种应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统

权利要求书

1.一种应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统，其特征在于，包括探针卡板和至少两个芯片检测单元，每个所述芯片检测单元检测一颗射频芯片，所述芯片检测单元包括绝缘环和探针，所述绝缘环固定在所述探针卡板上，所述探针与所述绝缘环固定，所述探针远离针尖的一端与所述探针卡板焊接，所述每个芯片检测单元之间设置屏蔽层；

所述屏蔽层设置在所述每个芯片检测单元外，所述屏蔽层一端与所述探针卡板固定，所述探针远离针尖的一端以及所述绝缘环均位于所述屏蔽层内，所述屏蔽层另一端设有开口，所述探针的针尖部分穿过所述开口。

2.根据权利要求1所述的应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统，其特征在于，所述屏蔽层为接地金属屏蔽层。

3.根据权利要求1所述的应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统，其特征在于，所述探针卡板上包括与芯片检测单元数量相同的环孔，所述绝缘环通过所述环孔固定在所述探针卡板上。

4.根据权利要求3所述的应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统，其特征在于，利用固定胶将所述探针固定在所述绝缘环上。

5.根据权利要求4所述的应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统，其特征在于，所述探针弯折分为两部分，分别为探针针尖和探针针臂。

6.根据权利要求5所述的应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统，其特征在于，所述探针针臂与所述探针针尖之间的弯折角度为钝角。

7.根据权利要求6所述的应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统，其特征在于，所述探针的探针针臂通过固定胶固定在所述绝缘环上。

8.根据权利要求1所述的应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统，其特征在于，所述绝缘环为陶瓷环。

9.根据权利要求6所述的应用于多颗射频芯片并行测试的悬臂式探针系统，其特征在于，所述固定胶为环氧树脂。