[发明专利]一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置及方法有效
申请号: | 201510823872.2 | 申请日: | 2015-11-24 |
公开(公告)号: | CN106756874B | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 刘慎思;赵钰雪;郑飞;陶智华;马贤芳;林佳继;张忠卫;石磊;阮忠立 | 申请(专利权)人: | 上海神舟新能源发展有限公司 |
主分类号: | C23C16/34 | 分类号: | C23C16/34;C23C16/458 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 林君如 |
地址: | 201112 上海市闵行*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 支撑钩 双面太阳能电池 石墨框 氮化硅 下表面 钩体 板式 硅片翻转 检修方便 前期处理 色差问题 双面镀膜 同一水平 稳定性能 自由端 放入 硅片 保养 | ||
1.一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置,用于硅片的镀膜,包括石墨框和设置在石墨框上的若干个支撑钩,支撑钩包括本体和钩体,钩体的自由端形成钩点,其特征在于,所述的钩点不低于石墨框的下表面,且不高于下表面1mm,所有支撑钩的钩点在同一水平面上。
2.根据权利要求1所述的一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置,其特征在于,所述的钩点与石墨框的下表面齐平。
3.根据权利要求1所述的一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置,其特征在于,所述的支撑钩的本体呈U型,顶部两个自由端处向外翻折90°形成凸出部;底部平直,两侧分别连接钩体。
4.根据权利要求3所述的一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置,其特征在于,所述的钩点高于本体的底部,钩点到本体底部的距离为4~5mm,且钩点处过渡圆滑。
5.根据权利要求1所述的一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置,其特征在于,所述的石墨框的内侧的形状与硅片的形状相匹配,且石墨框内侧面与硅片侧面相对的位置上设置有柔性密封圈。
6.根据权利要求5所述的一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置,其特征在于,所述的柔性密封圈包括短切碳纤维绒面或高温胶带。
7.根据权利要求1或3所述的一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置,其特征在于,还包括挡杆,挡杆呈U型,底部平直,顶部的自由端向外弯折90°形成凸出部;支撑钩对称设置在石墨框两条相对的边上,挡杆对称设置在另外两条相对的边上,石墨框的每条边上设置至少两个支撑钩或者挡杆。
8.根据权利要求7所述的一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置,其特征在于,所述的石墨框侧面设有凹槽,支撑钩或挡杆套在凹槽上,从两侧挤压凸出部使支撑钩或挡杆箍在石墨框上,石墨框的上下表面与支撑钩或挡杆的接触处设有垫片。
9.根据权利要求8所述的一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置,其特征在于,所述的支撑钩、挡杆及垫片均采用不锈钢材质。
10.一种采用如权利要求1~9任一所述的解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置进行镀膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)经过双面太阳能电池工艺前期处理得到待镀膜的硅片;
(2)将待镀膜的硅片放入该装置的支撑钩上,进入板式镀膜设备对硅片的下表面进行镀膜;
(3)将完成一面镀膜的硅片,翻转180°放入该装置的支撑钩上,进入板式镀膜设备进行硅片另一面的镀膜。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的