[发明专利]一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置及方法

说明书

本发明涉及一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置及方法，包括石墨框和设置在石墨框上的若干个支撑钩，支撑钩包括本体和钩体，钩体的自由端形成钩点，所述的钩点不低于石墨框的下表面，且不高于下表面1mm，且所有支撑钩的钩点在同一水平面上；进行双面镀膜时，将双面太阳能电池工艺前期处理得到待镀膜的硅片放入该装置的支撑钩上，进入设备进行一面的镀膜，然后将镀好一面的硅片翻转180°，进行另一面的镀膜。与现有技术相比，本发明具有适用范围广、安全可靠、稳定性能好、检修方便、保养次数低、工艺性能好，同时能解决板式镀膜的绕镀产生的边缘色差问题等优点。

技术领域

本发明属于太阳能电池领域，具体涉及一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置及方法。

背景技术

目前，N型双面太阳能电池的镀膜是双面沉积氮化硅减反膜。镀膜方式分为管式镀膜和板式镀膜两种。两种方式各有优缺点。由于载片方式的不同，板式镀膜存在绕镀问题，导致双面电池在制作过程中硅片边缘存在色差。而相对于板式，管式镀膜不存在边缘色差问题。但管式镀膜的问题是在进行第二面镀膜时，对硅片表面的划伤比板式PECVD严重，而且无法解决，无法满足双面电池正背面外观一致性要求。因此相对于管式的表面划伤问题，板式的绕镀问题存在解决的可能，从而实现双面电池正背面外观一致性的要求。

解决板式镀膜的绕镀产生的边缘色差问题，可以通过盖假片的方式。目前常规使用的石墨框采用的钩点基本上钩点长度低于石墨框下表面。因此比较容易导致镀膜时硅烷与氨气通过石墨框下表面与硅片间的缝隙绕镀到另一面。

中国专利CN101877373A公开了一种PECVD镀膜专用硅片承载器，包括承载框架、单面挂钩、双面挂钩和垫板，挂钩固定后，托钩的顶尖与挂钩连接杆底边的距离小于或等于硅片的厚度。此专利中托钩的顶尖位于挂钩连接杆底边的下面，当托钩的顶尖与挂钩连接杆底边的距离小于硅片厚度时，只适用于单面镀膜的硅片，如要双面镀膜，托钩的顶尖的缝隙位置会引起边缘绕镀，将硅片翻转180°镀膜后将引起色差。当托钩的顶尖与挂钩连接杆底边的距离等于硅片厚度时，只适用于常规厚度镀膜的硅片。如要生产薄片，托钩的顶尖的缝隙位置会引起边缘绕镀，将硅片翻转180°镀膜后将引起色差。

发明内容

本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种适用范围广、安全可靠、稳定性能好、检修方便、保养次数低、工艺性能好的解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置及方法

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置，用于硅片的镀膜，包括石墨框和设置在石墨框上的若干个支撑钩，支撑钩包括本体和钩体，钩体的自由端形成钩点，所述的钩点不低于石墨框的下表面，且不高于下表面1mm，所有支撑钩的钩点在同一水平面上。

所述的钩点与石墨框的下表面齐平。

所述的支撑钩的本体呈U型，顶部两个自由端处向外翻折90°形成凸出部；底部平直，两侧分别连接钩体。

所述的钩点高于本体的底部，钩点到本体底部的距离为4～5mm，且钩点处过渡圆滑。

所述的石墨框的内侧的形状与硅片的形状相匹配，且石墨框内侧面与硅片侧面相对的位置上设置有柔性密封圈。

所述的柔性密封圈包括短切碳纤维绒面或高温胶带。

还包括挡杆，挡杆呈U型，底部平直，顶部的自由端向外弯折90°形成凸出部；支撑钩对称设置在石墨框两条相对的边上，挡杆对称设置在另外两条相对的边上，石墨框的每条边上设置至少两个支撑钩或者挡杆。

所述的石墨框侧面设有凹槽，支撑钩或挡杆套在凹槽上，从两侧挤压凸出部使支撑钩或挡杆箍在石墨框上，石墨框的上下表面与支撑钩或挡杆的接触处设有垫片。

所述的支撑钩、挡杆及垫片均采用不锈钢材质。