[发明专利]用于处理物料的设备有效

专利信息
申请号: 201510828772.9 申请日: 2015-11-25
公开(公告)号: CN105633211B 公开(公告)日: 2020-11-17
发明(设计)人: W·迈尔 申请(专利权)人: 艾森曼欧洲公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677;F27B9/24;F27B9/30;B65G39/02
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 殷玲;吴鹏
地址: 德国博*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 处理 物料 设备
【权利要求书】:

1.一种用于处理物料的设备,该设备具有:

a)处理室(16),该处理室装备有外罩(20),该外罩将位于外罩(20)内的环境与位于外罩(20)外的环境分开,其中,位于外罩(20)内的环境是受控制的环境;

b)壳体(14),该壳体形成处理室(16)的边界;

c)至少一个至少部分地布置在处理室(16)内的、用于输送物料的传送辊(24);

d)一个或多个支承装置(34、36;64、66),其布置在壳体(14)外且借助于该支承装置支承至少一个传送辊(24);

其特征在于,

e)在至少一个支承装置(64、66)与壳体(14)的、对应于支承装置(64、66)的壁之间设有柔性的补偿元件(76、78);

f)设有与补偿元件(76、78)相连的密封布置结构(93、95),该密封布置结构将至少一个支承装置(64、66)与位于外罩(20)内的环境分开;

g)密封布置结构(93、95)具有接纳元件,该接纳元件运动学地与传送辊(24)耦合,该接纳元件设计为片材形式,且该接纳元件在垂直于传送辊(24)的转动轴线的平面中延伸;以及

h)密封布置结构(95)具有密封元件(92),该密封元件(92)布置在补偿元件(76、78)与密封布置结构(95)的接纳元件之间,使得密封布置结构(95)提供相对于接纳元件的气密密封。

2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,补偿元件(76、78)这样设计,从而在传送辊(24)的支承功能方面所述至少一个支承装置(64、66)与壳体(14)的壁脱耦。

3.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,补偿元件(76、78)这样预紧地布置,使得密封布置结构(93、95)被压向所述至少一个支承装置(64、66)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的设备,其特征在于,壳体(14)具有一个或多个通道(30、32),所述一个或多个通道分别对应于支承装置(64或66),其中,补偿元件(76、78)这样布置在所述至少一个支承装置(64、66)与壳体(14)的、对应于所述至少一个支承装置(64、66)的壁之间,使得即使在传送辊(24)的轴线与用于传送辊(24)的通道(30或32)的轴线之间存在偏差,仍通过补偿元件(76、78)确保了密封。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的设备,其特征在于,密封布置结构(93、95)的接纳元件这样设计,使得该接纳元件在物料输送的过程中在传送辊(24)运动时以与传送辊(24)运动学耦合的方式运动。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的设备,其特征在于,密封布置结构(93、95)的接纳元件这样设计,使得该接纳元件在物料输送的过程中在传送辊(24)转动时以与传送辊(24)运动学耦合的方式运动。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的设备,其特征在于,补偿元件(76、78)设计为管件形式,在该管件中布置有传送辊(24)的部分区域。

8.根据权利要求7所述的设备,其特征在于,补偿元件(76、78)是波纹管(76、78)。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的设备,其特征在于,处理室(16)的外罩(20)、至少一个所述补偿元件(76、78)和至少一个所述密封布置结构(93、95)形成环境区域的边界,在该环境区域中存在外罩内部的受控制的环境。

10.根据权利要求9所述的设备,其特征在于,外罩(20)、至少一个所述补偿元件(76、78)和至少一个所述密封布置结构(93、95)设计为气密的。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的设备,其特征在于,补偿元件(76、78)的至少大部分布置在壳体(14)外。

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