[发明专利]用于处理物料的设备有效
申请号: | 201510828772.9 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN105633211B | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | W·迈尔 | 申请(专利权)人: | 艾森曼欧洲公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677;F27B9/24;F27B9/30;B65G39/02 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 殷玲;吴鹏 |
地址: | 德国博*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 处理 物料 设备 | ||
一种用于处理物料的设备,具有装备有外罩(20)的处理室(16),该外罩将位于其内的环境与位于外罩(20)外的环境分开,位于外罩(20)内的环境是受控制的环境。壳体(14)形成处理室(16)的边界。至少一个用于输送物料的传送辊(24)至少部分地布置在处理室(16)内。借助于一个或多个布置在壳体(14)外的支承装置(64、66)支承至少一个传送辊(24)。在至少一个支承装置(64、66)与壳体(14)的、对应于支承装置的壁之间设有柔性的补偿元件(76、78),设有与补偿元件(76、78)相连的密封布置结构(93、95),该密封布置结构将至少一个支承装置(64、66)与位于外罩(20)内的环境分开。
技术领域
本发明涉及一种用于处理物料的设备,该设备具有:
a)处理室,该处理室装备有外罩,该外罩将位于外罩内的环境与位于外罩外的环境分开,其中,位于外罩内的环境是受控制的环境;
b)壳体,该壳体形成处理室的边界;
c)至少一个至少部分地布置在处理室内的、用于输送物料的传送辊;
d)一个或多个支承装置(Lagereinrichtung),其布置在壳体外且借助于该支承装置支承至少一个传送辊(Tragrolle)。
背景技术
由DE 10 2009 019 127A1已知了一种用于制造光伏薄膜电池的炉子,这种炉子具有:炉壳体,该炉壳体的壁包括绝缘层;包围炉壳体的气密的外罩,在该外罩的内室中存在受控制的环境;以及包括多个传送辊的输送设备,借助于该输送设备能够经过炉壳体输送基材板,其中,传送辊的与驱动装置相连的端部区域支承在支承装置中,该支承装置包括至少一个支承底座,该支承底座通过金属片型材支承,该金属片型材竖立在与炉壳体相连的钢结构的支柱上。
在DE 10 2011 116 136A1中描述的用于处理工件、特别是用于处理光伏薄膜电池的基材的设备具有形成处理室的边界的壳体,在该处理室中存在受控制的环境,其中,工件能够通过具有多个传送辊的输送系统经过处理室输送,其中,传送辊从外部支承在壳体侧壁上。
在已知的设备中,传送辊和用于传送辊的支承装置遭受相对较大的磨损。
发明内容
本发明的目的是,提供一种用于处理物料的设备,该设备相对于现有技术,例如在与所述磨损相关的缺点方面得到进一步改进。
该目的在开头所述类型的设备中通过以下方式实现,即
e)在至少一个支承装置与壳体的、对应于支承装置的壁之间设有柔性的补偿元件;
f)设有与补偿元件相连的密封布置结构,该密封布置结构将至少一个支承装置与位于外罩内的环境分开。
以这种方式减少了支承装置的负荷且提高了其耐久性。设备的由取决于磨损的轴承更换所引起的停机时间可以根据本发明减少。由于可以放弃将支承装置直接固定在设备壳体上的做法,因此根据本发明的布置结构能够实现运输辊的更简单的安装和拆卸。
优选地,补偿元件可以这样设计,从而在支承辊的支承功能方面所述至少一个支承装置与壳体的壁脱耦。因此,壳体的壁、例如炉侧壁可以构造成花费更少且成本更有利地制造,例如由于更宽松的制造公差。
有利的是,补偿元件这样预紧地布置,使得密封布置结构被朝向至少一个支承装置的方向挤压。因此能够实现密封布置结构的自动调整,由此可以补偿磨损和回转不精确性。
在适宜的设计方案中,壳体可以具有一个或多个通道,该一个或多个通道分别对应于支承装置,其中,补偿元件这样布置在至少一个支承装置与壳体的、对应于该至少一个支承装置的壁之间,使得即使在传送辊的轴线与用于传送辊的通道的轴线之间存在偏差,仍通过补偿元件确保了密封。因此可以在补偿元件的帮助下对壳体的通道的对准误差进行补偿。因此可以减少磨损、特别是与传送辊的倾斜位置有关的磨损。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的