[发明专利]CIS晶圆成测机

权利要求书

1.一种CIS晶圆成测机，包括底座和光源装置，所述光源装 置安装在所述底座上，所述光源装置包括镜头安装板，在所述镜 头安装板上设有多个镜头安装孔，在所述每个镜头安装孔内设置 一个镜头，其特征在于：在所述镜头安装板的下方设置光源安装 板，在所述光源安装板内设有多个光源板，所述多个光源板与所 述多个镜头安装孔一一对应。

2.根据权利要求1所述的CIS晶圆成测机，其特征在于：在 每个光源板与镜头安装孔之间设置均光片。

3.根据权利要求1所述的CIS晶圆成测机，其特征在于：所 述光源装置通过两组位移方向相互垂直的滑动平台设置在所述底 座上。

4.根据权利要求3所述的CIS晶圆成测机，其特征在于：所 述每组滑动平台包括滑动滑轨和滑槽，并在滑轨或滑槽上设置锁 紧部件。

5.根据权利要求3或4所述的CIS晶圆成测机，其特征在于： 所述滑动平台通过调节部件调节其位移，所述调节部件为手动或 电动调节部件。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的CIS晶圆成测机，其 特征在于：所述底座和光源装置之间还设有高度调节机构，所述 高度调节机构包括设置在所述底座内的电机和设置在所述光源装 置下方的顶杆，所述高度调节机构将电机的旋转运动转化为顶杆 的直线运动对光源装置的高度进行调节。