[发明专利]CIS晶圆成测机

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路芯片处理技术领域，特别是一种CIS晶圆成测机。

背景技术

CIS芯片是一种图像信号处理器芯片，该芯片专为图像传感器芯片， 它对接受的光线(图像)进行处理，被广泛用在扫描仪、传真机、数码摄 像机、照相机中。CIS晶圆级成测机是以整片封装好的晶圆为测试对象， 按照中测探针台的方式，对晶圆上每颗CIS芯片进行电性能和图像性能测 试，是一种优于JEDEC或CHIP托盘装的芯片测试处理机，具有简单、使用 方便、成本低、不易对芯片造成损伤等优点。

现有的CIS晶圆级成测机结构简单，操作不便，在测试时还要增加辅 助光源，不能满足对CIS芯片的晶圆级测试的需求。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述技术问题，提供一种CIS晶圆成测机， 以期使CIS晶圆成测机实现光源提供和检测一体。

本发明采取的技术方案是：一种CIS晶圆成测机，包括底座和光源装 置，所述光源装置安装在所述底座上，所述光源装置包括镜头安装板，在 所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔，在所述每个镜头安装孔内设置一 个镜头，其特征是，在所述镜头安装板的下方设置光源安装板，在所述光 源安装板内设有多个光源板，所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一 对应。

进一步，在每个光源板与镜头安装孔之间设置均光片。

进一步，所述光源装置通过两组位移方向相互垂直的滑动平台设置在 所述底座上。

进一步，所述每组滑动平台包括滑动滑轨和滑槽，并在滑轨或滑槽上 设置锁紧部件。

进一步，所述滑动平台通过调节部件调节其位移，所述调节部件为手 动或电动调节部件。

进一步，所述底座和光源装置之间还设有高度调节机构，所述高度调 节机构包括设置在所述底座内的电机和设置在所述光源装置下方的顶杆， 所述高度调节机构将电机的旋转运动转化为顶杆的直线运动对光源装置的 高度进行调节。

本发明的有益效果是：，

1、滑动平台的设置使镜头与芯片的对准精确；

2、光源的设置，使成测机结构紧凑，操作方便；

3、镜头和光源的安装方式使镜头和光源更换时方便快速。

附图说明

附图1为本发明的结构示意图：附图2为附图1的A向视图：附图3 为附图2的B-B剖视图。

附图中的标记分别为，1、底座；2、光源装置；3、滑动平台； 4、滑动平台；5、镜头安装板；6、镜头安装孔；7、光源安装板；8、光源 板；9、均光片；10、滑轨；11、滑槽；12、电机；13、顶杆； 14、锁紧部件。

具体实施方式

下面结合附图对本发明CIS晶圆成测机的具体实施方式作详细说明。

参见附图1、2、3，CIS晶圆成测机包括底座1和光源装置2，光源装 置2通过两组位移方向相互垂直的滑动平台3、4设置在底座1上。光源装 置2包括镜头安装板5，镜头安装板5设置在光源装置的上方，在镜头安 装板5上设有多个镜头安装孔6，镜头安装孔6排列成点阵式，其间距与 待测CIS晶圆上的芯片之间的距离相对应或成倍数关系。在每个镜送安装 孔6内设置一个镜头。在镜头安装板5的下方设置光源安装板7，在光源 安装板7内设有多个光源板8，光源板8的数量与镜头安装孔6的数量一 致，即每个镜头安装孔6配置一个光源板8，在镜头安装孔6与光源板8 之间还设置均光片9，均光片9用于提高光线质量。

参见附图3，滑动平台3和滑动平台4相互垂直设置，其各自均包括 滑动滑轨10和滑槽11，滑动平台3、4还设有调节部件用于调节其位移， 调节部件为手动或电动调节部件，在滑轨或者滑槽上设置锁紧部件14，当 滑动平台3、4移动到合适位置时，通过锁紧部件14进行固定。滑动平台 3、4除了用滑轨10和滑槽11这种滑动方式外，还要使用现有技术中的各 种滑动结构，只要使光源装置2达到在平台上做XY方向的任意移动即可。

继续参见附图3，底座1和光源装置2之间还设有高度调节机构，高 度调节机构包括设置在底座1内的电机12和设置在光源装置2下方的顶杆 13，高度调节机构将电机12的旋转运动转化为顶杆13的直线运动对光源 装置2的高度进行调节，使光源装置2上的镜头与待测CIS晶圆之间距离 达到检测要求的参数。