[发明专利]电磁加热高真空油扩散泵

权利要求书

1.电磁加热高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其特征在于电磁加热器设置在泵体底部、泵体的排气口处设有水冷挡油装置，泵体采用了直腔结构，泵体外设有水槽式冷却外套，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心位置，泵芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。

2.根据权利要求1所述的电磁加热高真空油扩散泵，其特征在于所述的泵体直腔的中间体直径尺寸与进气口直径尺寸相同，泵体采用不锈钢制成，泵体的内外焊缝处采用两面焊接结构，泵体进气口处的法兰采用不锈钢整体结构。

3.根据权利要求1所述的电磁加热高真空油扩散泵，其特征在于所述的水槽式冷却外套结构如下，它是由不锈钢板折压制造而成，缠绕泵体外部形成水流导向结构；水流导向结构为冷却槽缠绕泵体外壁，冷却水在水冷却槽内流动，水冷却槽与泵体外壁接触处采用氩弧焊点焊连接，然后再满焊连接。

4.根据权利要求1所述的电磁加热高真空油扩散泵，其特征在于所述的泵体的下部设有观察窗和测温电阻。

5.根据权利要求4所述的电磁加热高真空油扩散泵，其特征在于所述的观察窗结构为第一无氧铜密封垫安装于小法兰口处，小法兰与小接管焊接，小法兰上部安装盲板法兰，第二无氧铜密封垫安装在主法兰上，主管法兰与主接管焊接，第二无氧铜密封垫与观察窗法兰连接。

6.根据权利要求1所述的电磁加热高真空油扩散泵，其特征在于所述的泵芯组件采用不锈钢拉丝板材料制造，其具体结构为：一级喷嘴帽安装在一级喷嘴座上，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体，二级喷嘴安装在三级喷嘴上，三级喷嘴帽安装在三级导流管上，二级喷嘴帽与三级导流管通过垫圈、连接套管和不锈钢螺杆连接在一起，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，二级间隙垫安装在三级喷嘴帽上，三级间隙垫安装三级导流管上部，一级喷嘴帽、二级喷嘴帽和三级喷嘴帽为伞帽形扩散喷嘴帽。

7.根据权利要求6所述的电磁加热高真空油扩散泵，其特征在于所述的泵芯组件的伞帽形扩散喷嘴的喷射角度为53~63度，一级扩压导流管的喷射角度为75度。

8.根据权利要求1所述的电磁加热高真空油扩散泵，其特征在于所述的电磁加热器的结构如下：金属外壳内安装电磁耐热高温加热线，金属外壳由铝制品制造，金属外壳外部焊接有连接螺母，连接螺母通过紧固件连接于泵体底部，用于控制电磁加热器的电控箱安装在泵体上。

9.根据权利要求1所述的电磁加热高真空油扩散泵，其特征在于所述的水冷挡油装置垂直安装在泵体的排气口处，水冷挡油装置是由位于中心的水冷铜管及水冷铜管上由下至上间隔、交错排列的半圆形挡油片构成，水冷铜管与水冷法兰、无缝弯头焊接成一体。

10.根据权利要求1所述的电磁加热高真空油扩散泵，其特征在于所述的泵体的进气口上水平安装有水冷挡板，水冷挡板的结构如下：水冷挡板法兰上下端中部安装挡油帽体，挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五安装在水冷挡板法兰内，固定拉筋、上挡片、压垫与挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五焊接成一体结构，铜冷却管缠绕于挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五外，把手、水嘴组件、测量元件焊接于水冷挡板法兰外侧，挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五的水平方向倾斜角度为47度。