[发明专利]电磁加热高真空油扩散泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种高真空油扩散泵，特别是涉及一种电磁加热高真空油扩散泵，它适用于真空烧结、真空热处理，镀膜设备。

背景技术

高真空油扩散泵属于射流真空泵的一种，它工作在高真空区域，以低压高速油蒸汽作为工作介质。泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸汽射流中而被携带到泵出口的排除的过程。它由泵体、泵芯组件、加热器等组件组成。泵体大都采用碳钢或不锈钢制造；泵芯组件是由喷嘴及导流管组成，泵芯组件是高真空油扩散泵的关键部件；加热器由加热元器件、电控箱组成。高真空油扩散泵除了在一般工业中有广泛的应用外，特别适用于那些要求对大的被抽容器进行快速抽空以及迅速排出被处理材料在处理过程中放出大量的气体的工艺过程。例如：真空永磁烧结，刀具，刃具热处理，真空幕墙玻璃镀膜设备等。

传统的高真空油扩散泵根据泵体的形状主要分为两种，为直腔和凸腔两种，其冷却方式有水冷套、铜管两种冷却方式，由于冷却效果在真空状态下起到比较大的作用。目前市面上没有水冷槽式的冷却扩散泵，由于传统技术结构及制造难度无法生产水冷槽式的高真空油扩散泵，使其生产加工制造受限制。传统的高真空油扩散泵的抽速小，原有抽气速率最大仅能达到8500L/S，极限真空低，极限真空度最高为7×10^-5Pa，达到极限真空时间长，返油率高，耗电量大。

发明内容

本发明就是为了解决上述技术问题而提供的一种电磁加热高真空油扩散泵，它具有加热速度快、冷却速度快效果好、返油率低、极限真空高、抽气速率高、耗电量低、达到极限真空时间短的特点。

为了达到上述目的，本发明是通过下述技术方案试下的：电磁加热高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其中电磁加热器设置在泵体底部、泵体的排气口处设有水冷挡油装置，泵体采用了直腔结构，泵体外设有水槽式冷却外套，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心位置，泵芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。

上述的泵体直腔的中间体直径尺寸与进气口直径尺寸相同，泵体采用不锈钢制成，泵体的内外焊缝处采用两面焊接结构，泵体进气口处的法兰采用不锈钢整体结构。

上述的水槽式冷却外套结构如下，它是由不锈钢板折压制造而成，缠绕泵体外部形成水流导向结构；水流导向结构为冷却槽缠绕泵体外壁，冷却水在水冷却槽内流动，水冷却槽与泵体外壁接触处采用氩弧焊点焊连接，然后再满焊连接。

上述的泵体的下部设有观察窗和测温电阻。

上述的观察窗结构为第一无氧铜密封垫安装于小法兰口处，小法兰与小接管焊接，小法兰上部安装盲板法兰，第二无氧铜密封垫安装在主法兰上，主管法兰与主接管焊接，第二无氧铜密封垫与观察窗法兰连接。

上述的泵芯组件采用不锈钢拉丝板材料制造，其具体结构为：所述的泵芯组件采用不锈钢拉丝板材料制造，其具体结构为：一级喷嘴帽安装在一级喷嘴座上，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体，二级喷嘴安装在三级喷嘴上，三级喷嘴帽安装在三级导流管上，二级喷嘴帽与三级导流管通过垫圈、连接套管和不锈钢螺杆连接在一起，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，二级间隙垫安装在三级喷嘴帽上，三级间隙垫安装三级导流管上部，一级喷嘴帽、二级喷嘴帽和三级喷嘴帽为伞帽形扩散喷嘴帽。

上述的泵芯组件的伞帽形扩散喷嘴的喷射角度为53~63度，一级扩压导流管的喷射角度为75度。

上述的电磁加热器的结构：所述的电磁加热器的结构如下：金属外壳内安装电磁耐热高温加热线，金属外壳由铝制品制造，金属外壳外部焊接有连接螺母，连接螺母通过紧固件连接于泵体底部，用于控制电磁加热器的电控箱安装在泵体上。

上述的水冷挡油装置垂直安装在泵体的排气口处，水冷挡油装置是由位于中心的水冷铜管及水冷铜管上由下至上间隔、交错排列的半圆形挡油片构成，水冷铜管与水冷法兰、无缝弯头焊接成一体。