[发明专利]喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法

权利要求书

1.一种喷嘴部件，包括设置有喷嘴的本体，其特征在于，所述 本体还设置有与所述喷嘴间隔开的中空腔，所述中空腔中设置有加热 件。

2.根据权利要求1所述的喷嘴部件，其特征在于，所述本体设 置有沿一直线方向分布的多个喷嘴，在所述多个喷嘴的两侧分别设置 有一个所述中空腔。

3.根据权利要求2所述的喷嘴部件，其特征在于，所述加热件 为平行所述直线方向延伸的加热丝。

4.根据权利要求3所述的喷嘴部件，其特征在于，每个所述中 空腔中设置有至少两条平行的加热丝。

5.根据权利要求1-4其中任一项所述的喷嘴部件，其特征在于， 所述本体由钛合金或铝合金制成。

6.根据权利要求1-4其中任一项所述的喷嘴部件，其特征在于， 所述本体为一体式结构。

7.根据权利要求1-4其中任一项所述的喷嘴部件，其特征在于， 所述本体包括第一本体、第二本体和第三本体，所述第二本体和所述 第三本体分别与所述第一本体的两相对侧邻接，所述第一本体在不同 于所述两相对侧的上侧设置有喷嘴，并且在所述两相对侧分别设置有 第一凹槽，所述第二本体和第三本体上分别设置有与所述第一凹槽对 应的第二凹槽，从而一个所述第一凹槽和一个所述第二凹槽组合成一 个所述中空腔。

8.根据权利要求1-4其中任一项所述的喷嘴部件，其特征在于， 还包括温控器件，用于当检测到所述喷嘴处的温度低于设定阈值时， 控制所述加热件的温度上升。

9.一种蒸镀装置，包括权利要求1-8其中任一项所述的喷嘴部 件。

10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括与所 述喷嘴连通的坩埚室和加热所述坩埚室的加热部件。

11.一种制作有机发光二极管器件的方法，其特征在于，使用权 利要求8或9所述的蒸镀装置蒸镀有机材料，在蒸镀时使所述加热件 发热。