[发明专利]喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机发光二极管显示技术领域，具体涉及喷嘴部件、 蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法。

背景技术

目前，有机发光二极管(OLED)的主流制备工艺是蒸镀技术， 蒸镀技术主要是利用热蒸发有机材料的原理，即把有机材料填入加热 源里，在真空环境中，升温加热，使固体有机材料熔融挥发或者升华 形成气态，有机材料的气体流沉积到玻璃基板上，形成一层层的有机 薄膜，制备成OLED的器件。

有机材料的气体流通过加热源的喷嘴从坩埚里出来，但由于制程 的不稳定或者有些材料的凝固温度与气态温度相接近，只要喷嘴的局 部温度较低，气态的材料很容易在喷嘴口处慢慢凝结，使喷嘴口慢慢 变小，直至全部被堵死。这种情况下，速率检测系统检测的有机材料 的蒸镀速率逐渐变小，为保持速率稳定，加热源的温度会逐渐上升， 过高的温度会导致材料的性质变劣甚至裂解碳化。另一方面，若是线 加热源的情况下，蒸镀速率减小，亦导致沉积到基板上的材料变少， 膜厚变薄，影响了OLED器件的性能，降低了产品的良率。同时，需 要开腔处理堵塞的喷嘴，并且更换变质的材料，降低了设备的稼动率， 提高了生产成本。

当前线性加热源的喷嘴部件均是一个个独立的由钛金属制备而 成的，高度较大，而且如图1所示，维持喷嘴2温度的加热丝4由于固 定方面的需求，一般设计在本体1与承载底板5形成的拐角位置，导致 加热丝4的热量主要在喷嘴下部，喷嘴2上部的热量通过钛金属传导和 热辐射获得，导致喷嘴2上部，特别是顶部的温度较低，且不易准确 控制。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明提供了喷嘴部件、蒸镀装置及制 作有机发光二极管器件的方法，有效防止蒸镀的有机材料在喷嘴处凝 结。

根据本发明第一方面，提供了一种喷嘴部件，包括设置有喷嘴的 本体，所述本体还设置有与所述喷嘴间隔开的中空腔，所述中空腔中 设置有加热件。

优选地，所述本体设置有沿一直线方向分布的多个喷嘴，在所述 多个喷嘴的两侧分别设置有一个所述中空腔。

优选地，所述加热件为平行所述直线方向延伸的加热丝。

优选地，每个所述中空腔中设置有至少两条平行的加热丝。

优选地，所述本体由钛合金或铝合金制成。

优选地，所述本体为一体式结构。

优选地，所述本体包括第一本体、第二本体和第三本体，所述第 二本体和所述第三本体分别与所述第一本体的两相对侧邻接，所述第 一本体在不同于所述两相对侧的上侧设置有喷嘴，并且在所述两相对 侧分别设置有第一凹槽，所述第二本体和第三本体上分别设置有与所 述第一凹槽对应的第二凹槽，从而一个所述第一凹槽和一个所述第二 凹槽组合成一个所述中空腔。

优选地，还包括温控器件，用于当检测到所述喷嘴处的温度低于 设定阈值时，控制所述加热件的温度上升。

根据本发明第二方面，提供了一种蒸镀装置，包括上述的喷嘴部 件。

优选地，还包括与所述喷嘴连通的坩埚室和加热所述坩埚室的加 热部件。

根据本发明第三方面，提供了一种制作有机发光二极管器件的方 法，使用上述的蒸镀装置蒸镀有机材料，在蒸镀时使所述加热件发热。

由上述技术方案可知，本发明提供的喷嘴部件、蒸镀装置及制作 有机发光二极管器件的方法，由于在与喷嘴间隔开的中空腔中设置有 加热件，当蒸镀有机材料时，加热件可以加热升温，产生的热量辐射 到中空腔周壁，不易流失，使喷嘴的周壁温度上升到基本保持与蒸镀 腔中一致或略高于蒸镀腔，从而喷嘴中的温度保持在一个合适的范围 之内，既不过低使有机材料凝结在喷嘴中，又不过高使有机材料碳化。 同时由于有机材料不凝结在喷嘴中，不需要将蒸镀装置停工来清理喷 嘴，提高了设备稼动率。由于有机材料不再凝结在喷嘴处或被高温碳 化，因此蒸镀形成的有机材料层厚度符合设计需要，材料不会劣化， 提高了有机发光二极管器件的性能。

附图说明

图1为现有技术提供的喷嘴部件的侧视结构示意图；

图2为本发明第一实施例提供的一体式喷嘴部件的侧视结构示 意图；

图3为图1的的喷嘴部件沿图1的AA线剖开的结构示意图；

图4为图1的的喷嘴部件沿图1的BB线剖开的结构示意图；