[发明专利]一种新型LED芯片的互联结构及其制作方法在审
申请号: | 201510863144.4 | 申请日: | 2015-11-30 |
公开(公告)号: | CN105355642A | 公开(公告)日: | 2016-02-24 |
发明(设计)人: | 易翰翔;郝锐;刘洋;许徳裕 | 申请(专利权)人: | 广东德力光电有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L33/62;H01L33/44;H01L33/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 冯剑明 |
地址: | 529030 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 led 芯片 联结 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明涉及LED领域,具体涉及一种新型LED芯片的互联结构及其制作方法。
背景技术
LED发光芯片具有体积小、能耗低、寿命长以及环保等优点,广泛应用于照明领域。LED芯片的主体是一个发光PN结,主要由N型半导体、发光层和P型半导体组成,所述N型半导体和P型半导体上分别设置有金属电极。现有的LED芯片一般在发光PN结外覆盖一层钝化层(SiO2层),起保护作用,光阻层(由光刻胶形成)设置在钝化层外。由于现有的LED芯片在制作过程中需要分别添加钝化层和光阻层,之后还需对金属电极上方的光阻层和钝化层分别进行蚀刻,使金属电极外露,工序繁琐,制作麻烦,增加成本,同时,当多个LED芯片通过金属导线连接时,串联用的金属导线蒸镀在钝化层上,由于SiO2的附着力低,容易使金属导线脱离并断开,影响LED芯片之间的连接;此外,由于SiO2是硬性材料,抗冲击、抗压的能力较差,钝化层不能很好起到保护作用。
发明内容
为克服现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种新型LED芯片的互联结构,利用软性材料的光刻胶取代钝化层对LED芯片的主体进行保护,同时承托蒸镀的金属导线层;此外,本发明还提供了制作上述新型LED芯片的互联结构的方法。
本发明为解决其技术问题采用的技术方案是:
一种新型LED芯片的互联结构,包括衬底,所述衬底上设置有至少两块LED芯片,所述LED芯片包括依次设置在衬底上的N型半导体层、发光层和P型半导体层,其中N型半导体层部分暴露在发光层外,所述N型半导体层的暴露区上设置有N电极,P型半导体层表面设置有P电极,所述衬底上表面和LED芯片外涂抹有透明绝缘的光刻胶,并通过光刻工艺形成光阻层,所述光阻层上设置有使P电极和N电极外露的缺口,所述光阻层表面蒸镀有金属导线层,所述金属导线层两端分别连接不同的LED芯片上的电极。
作为上述技术方案的进一步改进,所述金属导线层一端连接P电极,另一端连接N电极。
作为上述技术方案的进一步改进,所述衬底上方设置有用于分隔LED芯片的绝缘的芯片隔离带,所述芯片隔离带用绝缘光刻胶填充,起到分隔LED芯片的作用。
本发明提供了一种制作上述LED芯片互联结构的方法,,包括以下步骤:
S1、准备一衬底,在衬底上方依次设置N型半导体层、发光层、P型半导体层,通过刻蚀工艺暴露部分N型半导体层和形成绝缘的芯片隔离带,芯片隔离带通过干刻腐蚀到衬底表面,得到多个由芯片隔离带分隔的LED芯片;
S2、在N型半导体层暴露区设置N电极,P型半导体层上表面设置P电极;
S3、通过光刻工艺将透明绝缘的光刻胶直接覆盖在衬底、芯片隔离带和LED芯片外,形成光阻层,采用显影液把P电极和N电极上方的光阻层刻蚀,使P电极和N电极暴露出来;
S4、在光阻层上蒸镀金属导线层,金属导线层的两端分别连接不同的LED芯片上的电极。
本发明还提供了另一种制作上述LED芯片互联结构的方法,包括以下步骤:
T1、准备一衬底,在衬底上方依次设置N型半导体层、发光层、P型半导体层,通过刻蚀工艺暴露部分N型半导体层和形成绝缘的芯片隔离带,芯片隔离带通过干刻腐蚀到衬底表面,得到多个由芯片隔离带分隔的LED芯片;
T2、通过光刻工艺将透明绝缘的光刻胶直接覆盖在衬底、芯片隔离带和LED芯片外,形成光阻层,采用显影液把N型半导体层暴露区和P型半导体层上表面的部分光阻层刻蚀掉,使N型半导体层和P型半导体层暴露出来;
T3、在暴露出来的N型半导体层上设置N电极,P型半导体层上设置P电极;
T4、在光阻层上蒸镀金属导线层,金属导线层的两端分别连接不同的LED芯片上的电极。
本发明的有益效果是:
本发明采用透明绝缘的光阻层直接覆盖LED芯片,金属导线层蒸镀在光阻层上,由于光阻层是采用软性的光刻胶制作而成,易填充在LED芯片之间的空间,形成良好的支撑面,能很好地降低金属线的大幅度起伏引起的电压升高,且具备一定的粘附力,能很好的粘附金属导线层。此外,光刻胶的抗冲击、抗压的能力比硬性材料的SiO2更为优秀,光阻层取代钝化层能更好的起到保护作用;光阻层取代钝化层还减少了设置钝化层和蚀刻钝化层两道工序,提高了LED芯片的生产效率,并降低制造成本。
附图说明
以下结合附图和实例作进一步说明。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的