[发明专利]一种新型LED芯片的互联结构及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201510863144.4 申请日: 2015-11-30
公开(公告)号: CN105355642A 公开(公告)日: 2016-02-24
发明(设计)人: 易翰翔;郝锐;刘洋;许徳裕 申请(专利权)人: 广东德力光电有限公司
主分类号: H01L27/15 分类号: H01L27/15;H01L33/62;H01L33/44;H01L33/00
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 冯剑明
地址: 529030 *** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 led 芯片 联结 及其 制作方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及LED领域,具体涉及一种新型LED芯片的互联结构及其制作方法。

背景技术

LED发光芯片具有体积小、能耗低、寿命长以及环保等优点,广泛应用于照明领域。LED芯片的主体是一个发光PN结,主要由N型半导体、发光层和P型半导体组成,所述N型半导体和P型半导体上分别设置有金属电极。现有的LED芯片一般在发光PN结外覆盖一层钝化层(SiO2层),起保护作用,光阻层(由光刻胶形成)设置在钝化层外。由于现有的LED芯片在制作过程中需要分别添加钝化层和光阻层,之后还需对金属电极上方的光阻层和钝化层分别进行蚀刻,使金属电极外露,工序繁琐,制作麻烦,增加成本,同时,当多个LED芯片通过金属导线连接时,串联用的金属导线蒸镀在钝化层上,由于SiO2的附着力低,容易使金属导线脱离并断开,影响LED芯片之间的连接;此外,由于SiO2是硬性材料,抗冲击、抗压的能力较差,钝化层不能很好起到保护作用。

发明内容

为克服现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种新型LED芯片的互联结构,利用软性材料的光刻胶取代钝化层对LED芯片的主体进行保护,同时承托蒸镀的金属导线层;此外,本发明还提供了制作上述新型LED芯片的互联结构的方法。

本发明为解决其技术问题采用的技术方案是:

一种新型LED芯片的互联结构,包括衬底,所述衬底上设置有至少两块LED芯片,所述LED芯片包括依次设置在衬底上的N型半导体层、发光层和P型半导体层,其中N型半导体层部分暴露在发光层外,所述N型半导体层的暴露区上设置有N电极,P型半导体层表面设置有P电极,所述衬底上表面和LED芯片外涂抹有透明绝缘的光刻胶,并通过光刻工艺形成光阻层,所述光阻层上设置有使P电极和N电极外露的缺口,所述光阻层表面蒸镀有金属导线层,所述金属导线层两端分别连接不同的LED芯片上的电极。

作为上述技术方案的进一步改进,所述金属导线层一端连接P电极,另一端连接N电极。

作为上述技术方案的进一步改进,所述衬底上方设置有用于分隔LED芯片的绝缘的芯片隔离带,所述芯片隔离带用绝缘光刻胶填充,起到分隔LED芯片的作用。

本发明提供了一种制作上述LED芯片互联结构的方法,,包括以下步骤:

S1、准备一衬底,在衬底上方依次设置N型半导体层、发光层、P型半导体层,通过刻蚀工艺暴露部分N型半导体层和形成绝缘的芯片隔离带,芯片隔离带通过干刻腐蚀到衬底表面,得到多个由芯片隔离带分隔的LED芯片;

S2、在N型半导体层暴露区设置N电极,P型半导体层上表面设置P电极;

S3、通过光刻工艺将透明绝缘的光刻胶直接覆盖在衬底、芯片隔离带和LED芯片外,形成光阻层,采用显影液把P电极和N电极上方的光阻层刻蚀,使P电极和N电极暴露出来;

S4、在光阻层上蒸镀金属导线层,金属导线层的两端分别连接不同的LED芯片上的电极。

本发明还提供了另一种制作上述LED芯片互联结构的方法,包括以下步骤:

T1、准备一衬底,在衬底上方依次设置N型半导体层、发光层、P型半导体层,通过刻蚀工艺暴露部分N型半导体层和形成绝缘的芯片隔离带,芯片隔离带通过干刻腐蚀到衬底表面,得到多个由芯片隔离带分隔的LED芯片;

T2、通过光刻工艺将透明绝缘的光刻胶直接覆盖在衬底、芯片隔离带和LED芯片外,形成光阻层,采用显影液把N型半导体层暴露区和P型半导体层上表面的部分光阻层刻蚀掉,使N型半导体层和P型半导体层暴露出来;

T3、在暴露出来的N型半导体层上设置N电极,P型半导体层上设置P电极;

T4、在光阻层上蒸镀金属导线层,金属导线层的两端分别连接不同的LED芯片上的电极。

本发明的有益效果是:

本发明采用透明绝缘的光阻层直接覆盖LED芯片,金属导线层蒸镀在光阻层上,由于光阻层是采用软性的光刻胶制作而成,易填充在LED芯片之间的空间,形成良好的支撑面,能很好地降低金属线的大幅度起伏引起的电压升高,且具备一定的粘附力,能很好的粘附金属导线层。此外,光刻胶的抗冲击、抗压的能力比硬性材料的SiO2更为优秀,光阻层取代钝化层能更好的起到保护作用;光阻层取代钝化层还减少了设置钝化层和蚀刻钝化层两道工序,提高了LED芯片的生产效率,并降低制造成本。

附图说明

以下结合附图和实例作进一步说明。

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