[发明专利]一种绑定靶材用合金及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种绑定靶材用合金，其特征是配方比例按重量份计：锡50-85份，铟5-30份，锌1-3份，镓0.2-5份，铝0.5-5份，银0.5-3份，钕0.1-2份；通过锡锭熔化、铝粒熔化、钕熔化、银和锌块的熔化、铟和镓的熔化及浇铸制备得到绑定靶材用合金，将其用于绑定靶材和背板；

所述绑定靶材用合金熔点180-330℃，电阻率5-12.6 μΩ·cm ，导热率73.2-200W／(m·K) ，表面张力3-8×10^-2牛/米，热膨胀系数10-20×10^-6/℃。

2.如权利要求1所述绑定靶材用合金，其特征是配方比例按重量份计：锡60-65份，铟28-30份，锌2-3份，镓0.8-1份，铝0.5-0.8份，银0.3-0.6份，钕0.7-0.8份；通过锡锭熔化、铝粒熔化、钕熔化、银和锌块的熔化、铟和镓的熔化及浇铸制备得到绑定靶材用合金，将其用于绑定靶材和背板。

3.如权利要求1所述绑定靶材用合金，其特征是配方比例按重量份计：锡68-71份，铟22-25份，锌2-3份，镓0.8-1份，铝0.5-0.8份，银0.3-0.6份，钕0.7-0.8份；通过锡锭熔化、铝粒熔化、钕熔化、银和锌块的熔化、铟和镓的熔化及浇铸制备得到绑定靶材用合金，将其用于绑定靶材和背板。

4.如权利要求1所述绑定靶材用合金，其特征是配方比例按重量份计：锡75-78份，铟15-17份，锌1-1.5份，镓0.5-0.6份，铝0.9-1.1份，银2.5-3份，钕0.9-1.0份；通过锡锭熔化、铝粒熔化、钕熔化、银和锌块的熔化、铟和镓的熔化及浇铸制备得到绑定靶材用合金，将其用于绑定靶材和背板。

5.如权利要求1所述绑定靶材用合金，其特征是配方比例按重量份计：锡80-85份，铟10-13份，锌1-1.2份，镓0.2-0.3份，铝2-3份，银1-1.2份，钕1.1-1.5份；通过锡锭熔化、铝粒熔化、钕熔化、银和锌块的熔化、铟和镓的熔化及浇铸制备得到绑定靶材用合金，将其用于绑定靶材和背板。

6.权利要求1所述绑定靶材用合金的制备方法，其特征是步骤为：

（1）锡锭熔化：向坩埚内放入称量好的锡锭60-65份，用20-40kW的功率将锡锭熔化得到熔液，熔化温度控制为280-300℃，熔化时间为3min；

（2）铝粒熔化：将称量好的铝粒0.5-5份加入步骤（1）所得熔液中，用40-70kW的功率快速升温，升温至600℃，将铝粒完全熔化，之后以5-15kW的功率降温到350℃；

（3）钕熔化：将称量好的钕0.1-2份用锡纸包裹，用石墨罩压在步骤（2）所得熔液中，用5-15kW的功率保持温度340-360℃稳定，经过4-6min，钕全部融化后取出石墨罩；

（4）银和锌块的熔化：将称量好的银0.5-3份和锌块1-3份加入步骤（3）所得熔液，用40-70kW的功率全部熔化，控制温度不高于400℃，之后将温度降到330-350℃；

（5）铟和镓的熔化：在步骤（4）所得熔液中加入铟28-30份和镓0.2-5份，用30-50kW的功率搅拌并熔化，控制温度不超过450℃，4-6min后停止加热；之后用勺子捞出熔液表面的渣；

（6）浇铸：将步骤（5）所得熔液浇铸成符合规格的合金锭；

步骤（2）所述铝粒直径1mm，长度10mm；步骤（6）所述合金锭规格为20mm*20mm*100mm。