[发明专利]微尘检测机构

权利要求书

1.一种微尘检测机构，其特征在于，其至少包含有：

一机体，其具有一移动轴；

一载台模块，其滑设于机体的移动轴，该载台模块可供承载待测的透光件沿机体的移动轴线性位移；

一光学影像模块，其设于机体上，供该光学影像模块与该载台模块能够相对位移，该光学影像模块由至少一呈线性扫描的影像感测元件所组成，该至少一影像感测元件的线性扫描延伸轴与载台模块的移动轴呈垂直相交并形成有交点；以及

四组光源模块，其分设于机体的移动轴两侧而构成两对相对设置的光源模块，该四组光源模块分别具有一激光发光件，且四个该激光发光件的光源射出点与该交点等距且等角，四个该激光发光件的光源射出点与待测透光件检测表面的夹角角度介于0.5至6度之间；四个该光源模块的激光发光件是波长600nm～700nm的红光激光二极管，两对相对设置的光源模块之间的相对夹角为20度至25度；

其中，该载台模块具有一可供待测透光件迅速定位于检测位置的定位机构，该定位机构具有一底板，且底板在对应待测透光件的角落分别设有一固定件，且各固定件分别设有一供顶撑该待测透光件各角落的撑块，又撑块与固定件间进一步设有一能调节高度的调整组，该定位机构的底板顶面在对应待测透光件各边缘处分别设有一供选择性贴抵待测透光件边缘的推压件，该推压件上分别设有至少两个可同步选择性贴抵待测透光件边缘的抵柱，使不同待测透光件均能定位于同一检测位置。

2.根据权利要求1所述的微尘检测机构，其特征在于：该至少一影像感测元件距离待测透光件检测表面的焦距高度为280mm～320mm，将该线性滑轨的移动轴定义为X轴方向，将该影像感测元件的线性扫描延伸轴定义为Y轴方向，而该四组光源模块的激光发光件的光源射出点与该交点之间的连线在X轴上的投影距离为300mm～320mm，且该四组光源模块的激光发光件的光源射出点与该交点在Y轴上的投影距离为120mm～130mm 。

3.根据权利要求1所述的微尘检测机构，其特征在于：该微尘检测机构用于检测半导体光罩时，该至少一影像感测元件距离待测透光件检测表面的焦距高度为293mm～305mm，将该线性滑轨的移动轴定义为X轴方向，将该影像感测元件的线性扫描延伸轴定义为Y轴方向，而该四组光源模块的激光发光件的光源射出点与该交点在X轴上的投影距离为307mm～311mm，且该四组光源模块的激光发光件的光源射出点与该交点在Y轴上的投影距离为123mm～127mm，再者该四组光源模块的激光发光件的光源射出点与待测透光件检测表面的夹角角度介于0.5至3度之间。

4.根据权利要求1所述的微尘检测机构，其特征在于：该激光发光件通过一微调模块设于机体上，且该微调模块具有可调整X轴、Y轴、Z轴、X轴旋转角度、Y轴旋转角度、Z轴旋转角度或其任意组合的调整功能。

5.根据权利要求1所述的微尘检测机构，其特征在于：该载台模块具有一可带动待测透光件上、下位移的升降机构，该升降机构具有一基板，且基板上滑设有一具有斜导面的座体，座体的斜导面上滑设有一具有相对斜导面的承体，基板在承体异于座体一端固设有一立板，供承体能够沿立板上、下位移，再者基板在座体异于承体的一端设有一供选择性作动座体的驱动件，令承体能够利用斜导面沿立板产生升降作用。

6.根据权利要求5所述的微尘检测机构，其特征在于：该载台模块的定位机构设于升降机构顶面，再者该定位机构上设有至少一能够检知待测透光件厚度的高度检测元件，该高度检测元件并与升降机构的驱动件形成电气连接，供配合待测透光件厚度调节升降机构的承体顶升高度。