[发明专利]太阳能电池激光背电极窗口开窗终点判断方法在审
| 申请号： | 201510882974.1 | 申请日： | 2013-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN105551990A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 陈云 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 南京同泽专利事务所(特殊普通合伙) 32245 | 代理人： | 蔡晶晶 |
| 地址： | 226019 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 激光 电极 窗口 开窗 终点 判断 方法 | ||
1.一种太阳能电池激光背电极窗口开窗终点判断方法，包括如下步骤：
第1步、从同一批次的电池片中选取一个电池片作为样品，电池片样品的背面淀积有厚度均匀的背钝化层，所述背钝化层为二氧化硅层或氮化硅层中的一种；
第2步、无氧环境下利用波长为1064nm，频率为25-35Hz的脉冲型激光对电池片样品的背面进行N次刻蚀，每次激光刻蚀，每平方厘米电池片所受到的激光作用时间为15-25s，激光刻蚀后电池片减薄厚度为20-23nm，第1次刻蚀的面积为N*A，第2次刻蚀的面积为（N-1）*A，以此类推，第N次刻蚀的面积为A，第i次刻蚀的区域在第i-1次刻蚀的区域范围内，其中，i=2,3，…，N；A=100mm2；N的取值范围为15-25；
第3步、利用四探针测量经受j次激光刻蚀后的该区域电池片背面的表面电阻率，并进行记录，其中，j=1,2，…，N；本步骤中四探针测量电池片背面表面电阻率时，探针需刺穿背钝化层达到电池表面进行测试；
第4步、从电池片经受刻蚀次数由少至多进行观察，缓慢增加的电池片背面表面电阻率突然变大处所对应的电池片减薄深度即为电池片背钝化层的厚度，即为该批次电池片背部的激光开窗深度，设电池片背面表面电阻率突然变大处电池片经受了X次激光刻蚀，则利用与步骤2中相同波长和脉冲频率的脉冲型激光对该批次电池片背面进行X次刻蚀完成背部开窗。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
