[发明专利]一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统

权利要求书

1.一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统，其特征在于，包括：

含油氢气缓冲罐，用于存储多晶硅生产中的含油氢气；

氢气压缩机，与所述含油氢气缓冲罐连接，所述氢气压缩机用于进行压缩除油；

氢气淋洗塔，与所述氢气压缩机连接，所述氢气淋洗塔还设置有入口用于通入多晶硅生产过程中的含尘氢气，所述氢气淋洗塔用于使用通入的氯硅烷作为淋洗液进行淋洗，在所述氢气淋洗塔的塔顶收集到回收的氢气；

第一过滤器，与所述氢气淋洗塔的塔釜连接，所述第一过滤器用于进行过滤，得到过滤后的氯硅烷。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产过程中氢气的回收系统，其特征在于，还包括：

氯硅烷循环泵，包括氯硅烷循环泵的入口、氯硅烷循环泵的出口，所述氯硅烷循环泵的入口与所述第一过滤器连接，所述氯硅烷循环泵的出口与所述氢气淋洗塔的塔顶连接，所述氯硅烷循环泵用于将所述过滤后的氯硅烷泵循环回到所述氢气淋洗塔。

3.根据权利要求2所述的多晶硅生产过程中氢气的回收系统，其特征在于，还包括：

第二过滤器，包括第二过滤器的入口和第二过滤器的出口，所述第二过滤器的入口与所述氯硅烷循环泵连接，所述第二过滤器的出口与所述氢气淋洗塔的塔顶连接。

4.根据权利要求3所述的多晶硅生产过程中氢气的回收系统，其特征在于，还包括：

氯硅烷深冷器，包括氯硅烷深冷器的入口和氯硅烷深冷器的出口，所述氯硅烷深冷器的入口与所述第二过滤器连接，所述氯硅烷深冷器的出口与所述氢气淋洗塔的塔顶连接。

5.根据权利要求1～4任意一项所述的多晶硅生产过程中氢气的回收系统，其特征在于，还包括：

气气换热器，该气气换热器的壳程与所述氢气淋洗塔的塔顶连接，所述气气换热器的管程还分别与所述氢气压缩机、所述氢气淋洗塔连接，所述气气换热器用于进行气气换热。

6.根据权利要求3或4所述的多晶硅生产过程中氢气的回收系统，其特征在于，所述第二过滤器为两个。

7.根据权利要求5所述的多晶硅生产过程中氢气的回收系统，其特征在于，还包括：

油雾滤清器，包括油雾滤清器的入口和油雾滤清器的出口，所述油雾滤清器的入口与所述气气换热器连接，所述油雾滤清器的出口与所述氢气淋洗塔连接，所述油雾滤清器用于进行油雾滤清。

8.根据权利要求1～4任意一项所述的多晶硅生产过程中氢气的回收系统，其特征在于，所述第一过滤器的过滤精度为0.5μm～2μm。

9.根据权利要求1～4任意一项所述的多晶硅生产过程中氢气的回收系统，其特征在于，所述氢气淋洗塔的操作温度为-46℃～-20℃，操作压力为200KPaG～400KPaG；所述淋洗液流量为15-25m³/h，其中，补充新鲜氯硅烷作为淋洗液的流量为0.5-2.5m³/h。

10.根据权利要求1～4任意一项所述的多晶硅生产过程中氢气的回收系统，其特征在于，所述第一过滤器的滤芯为丝网状滤芯，所述丝网状滤芯用于吸附油类物质，所述滤芯的材质选用海绵、吸附棉、油基聚丙烯材料中的一种。