[发明专利]一种LDI曝光机对位精度检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及LDI曝光机性能检测的技术领域，尤其是涉及一种LDI曝光机对位精度检测方法。

背景技术

LDI曝光机包括上游机与下游曝光机。上游机用于将板材的正面进行曝光，板材的正面曝光后，将板材翻转，通过下游曝光机将板材的反面进行曝光。无论在LDI曝光机对板材正面或反面曝光之前，均需要先抓取定位孔。并根据定位孔位置将曝光文件与板材定位孔进行对位以及通过拉伸曝光文件调整其大小以适配板材上的定位孔，然后再将曝光文件曝光在板面上。可见，LDI曝光机抓取定位孔的准确性对于LDI曝光机的曝光精度非常重要。在设备新装机或者使用过程中随着条件变化，设备抓取定位孔的准确度可能会发生变化。抓取定位孔的准确度发生变化后将导致板材上曝光图形的实际曝光位置与理论曝光位置发生较大偏移。当板材上曝光图形的实际曝光位置与理论曝光位置发生较大偏移时，将会导致板材在后续制作过程中，容易出现板材破盘、层偏等批量报废缺陷。

发明内容

基于此，本发明在于克服现有技术的缺陷，提供一种LDI曝光机对位精度检测方法，它能够获知LDI曝光机对位精度是否符合要求。

其技术方案如下：

一种LDI曝光机对位精度检测方法，包括如下步骤：

提供测试板材；

制作钻带文件以及曝光图形文件，所述钻带文件包括通孔和定位孔的位置信息与孔径信息，所述曝光图形文件包括环绕所述通孔的第一圆环和第二圆环的位置信息与环宽信息，其中，所述第二圆环环绕在所述第一圆环外，所述第一圆环、第二圆环及所述通孔同心设置；

钻机根据所述钻带文件在所述测试板材上钻设出所述通孔及定位孔；

在钻出所述通孔及所述定位孔的所述测试板材上贴设干膜；

将贴设干膜的所述测试板材放入到LDI曝光机的上游机中，根据所述曝光图形文件对所述测试板材第一面进行两次曝光处理，所述两次曝光处理为将所述测试板材第一面上通孔外的第一圆环区域与第二圆环区域分别进行曝光处理；

将经过所述两次曝光处理的测试板材进行显影处理；

获取经过显影处理的测试板材第一面上的第一圆环区域、第二圆环区域及所述通孔的中心位置信息；

根据所述测试板材第一面上的第一圆环区域的中心位置信息或第二圆环区域的中心位置信息与所述通孔的中心位置信息计算得到上游机绝对偏移量，根据所述测试板材第一面上的第一圆环区域的中心位置信息与第二圆环区域的中心位置信息计算得到上游机相对偏移量。

在其中一个实施例中，在根据所述曝光图形文件对所述测试板材第一面进行两次曝光处理之后还包括步骤：

将所述测试板材翻转后送入到所述LDI曝光机的下游机中，根据所述曝光图形文件对所述测试板材第二面进行两次曝光处理，所述两次曝光处理为将所述测试板材第二面上通孔外的第一圆环区域与第二圆环区域分别进行曝光处理；

获取经过显影处理的测试板材第二面上的所述第一圆环区域、第二圆环区域的中心位置信息；

根据所述测试板材第二面上的第一圆环区域的中心位置信息或第二圆环区域的中心位置信息与所述通孔的中心位置信息计算得到下游机绝对偏移量，根据所述测试板材第二面上的第一圆环区域的中心位置信息与第二圆环区域的中心位置信息计算得到下游机相对偏移量。

在其中一个实施例中，根据所述测试板材第一面上的第一圆环区域的中心位置信息与所述测试板材第二面上的第一圆环区域的中心位置信息，或者根据所述测试板材第一面上的第二圆环区域的中心位置信息与所述测试板材第二面上的第二圆环区域的中心位置信息计算得到所述上游机与下游机之间的层间偏移量。

在其中一个实施例中，在所述测试板材的平面上建立X-O-Y直角坐标系，所述获取经过显影处理的测试板材第一面上的第一圆环区域、第二圆环区域及所述通孔的中心位置信息为获取所述测试板材第一面上的第一圆环区域、第二圆环区域及所述通孔的中心在所述X-O-Y直角坐标系上的坐标，所述获取经过显影处理的测试板材第二面上的所述第一圆环区域、第二圆环区域的中心位置信息为获取所述测试板材第二面上的第一圆环区域与第二圆环区域的中心在所述X-O-Y直角坐标系上的坐标。

在其中一个实施例中，所述通孔为四个以上。

在其中一个实施例中，四个以上所述通孔呈矩阵布置在所述测试板材上，且相邻所述通孔之间的距离相同。