[发明专利]多图像传感器模组的形成方法

权利要求书

1.一种多图像传感器模组的形成方法，其特征在于，所述方法包括：

提供包含若干图像传感器的晶圆；

切割晶圆形成：一体的多图像传感器；所述多图像传感器之间分别保留切割道区域；

对一体的多图像传感器进行装配形成多图像传感器模组；

所述方法还包括：于部分图像传感器上形成彩色滤光膜，于另一部分图像传感器上不形成彩色滤光膜；

所述方法还包括：

S1：于多个图像传感器表面形成第一平坦层；

S2：于第一平坦层表面形成第一彩色膜；通过曝光、显影于部分图像传感器的像素单元上保留部分第一彩色膜区域，去除其他区域的第一彩色膜；

S3：重复S2的步骤，在所述第一彩色膜区域以外的区域进一步形成第二彩色膜区域、第三彩色膜区域，所述第一彩色膜区域、第二彩色膜区域、第三彩色膜区域互不重合；所述第一彩色膜区域、第二彩色膜区域、第三彩色膜区域组成彩色滤光膜；

S4：于未覆盖有彩色滤光膜的另一部分图像传感器上形成透光膜；

S5：形成微透镜层。

2.根据权利要求1所述的多图像传感器模组的形成方法，其特征在于，所述方法还包括：

提供镜筒框架，所述镜筒框架分别装配对应于图像传感器的若干镜头组；

将一体的多图像传感器与镜筒框架装配形成多图像传感器模组。

3.根据权利要求1所述的多图像传感器模组的形成方法，其特征在于，所述多图像传感器中，所述图像传感器的宽边区域相邻于另一图像传感器的宽边区域,所述宽边区域为像素阵列距离图像传感器边缘距离最大的边之间的区域。

4.根据权利要求1所述的多图像传感器模组的形成方法，其特征在于，于彩色滤光膜和透光膜上形成第二平坦层，进一步形成微透镜。