[发明专利]划片机查找同一街区特征点的方法、装置及划片机

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路封装设备制造领域，特别涉及一种划片机查找同一街区特征点的方法、装置及划片机。

背景技术

划片机是集成电路生产线上将晶圆或硅片等分割成独立单元的设备，在进行分割的过程中需要用到自动对准。当在自动对准过程中采集到的一幅图片中有多个与模板匹配的特征点时，如果选取不在同一街区的特征点做自动对准会造成自动对准对偏，在划切过程中造成严重工件损坏。而目前划片机还没有简单可靠的解决一幅图片内有多个与模板匹配特征点自动对准的方法。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种划片机查找同一街区特征点的方法、装置及划片机，能在划片机工作的过程中，快速、准确地找到一幅图片中位于同一街区的特征点，提高划片机自动对准性能的可靠性。

为了达到上述目的，本发明的实施例提供了一种划片机查找同一街区特征点的方法，包括：

在划片机采集到的待分割工件的图片中，存在多个与划片机中预先存储的标准模板数据相匹配的特征点时，获取待分割工件在一坐标系中X轴方向的第一分度值，以及Y轴方向的第二分度值；

获取多个特征点中每个特征点在坐标系中X轴上的第一坐标值，以及Y轴上的第二坐标值；

根据第一分度值、第二分度值、多个特征点的第一坐标值和第二坐标值，从多个特征点中查找出位于同一街区的特征点。

其中，第一坐标值和第二坐标值均大于零，

根据第一分度值、第二分度值、多个特征点的第一坐标值和第二坐标值，从多个特征点中查找出位于同一街区的特征点的步骤，包括：

将多个第一坐标值中最小的第一坐标值对应的特征点作为参照点；

计算多个特征点中除参照点之外的每个第一特征点的第一坐标值与参照点的第一坐标值的第一坐标差值，以及多个特征点中除参照点之外的每个第一特征点的第二坐标值与参照点的第二坐标值的第二坐标差值；

根据第一分度值、第二分度值、多个第一坐标差值和多个第二坐标差值，从多个特征点中查找出位于同一街区的特征点。

其中，根据第一分度值、第二分度值、多个第一坐标差值和多个第二坐标差值，从多个特征点中查找出位于同一街区的特征点的步骤，包括：

剔除多个第一坐标差值中大于第一分度值与第一预设值的和值的第一坐标差值对应的第一特征点，以及多个第二坐标差值中大于第二分度值与第二预设值的和值的第二坐标差值对应的第一特征点；

计算第一分度值与第二分度值的差值的第一绝对值；

判断第一绝对值是否在第一预设范围内；

当第一绝对值在第一预设范围外时，确定多个第一特征点中剩余的第一特征点和参照点为位于同一街区的特征点；

当第一绝对值在第一预设范围内时，确定多个第二坐标差值中最小的第二坐标差值对应的第一特征点和参照点为位于同一街区的特征点。

其中，根据第一分度值、第二分度值、多个第一坐标差值和多个第二坐标差值，从多个特征点中查找出位于同一街区的特征点的步骤，包括：

计算第一分度值与第三预设值的乘积；

剔除多个第一坐标差值中大于乘积与第四预设值的和值的第一坐标差值对应的第一特征点，以及多个第二坐标差值中大于第二分度值与第五预设值的和值的第二坐标差值对应的第一特征点；

计算乘积与第二分度值的差值的第二绝对值；

判断第二绝对值是否在第二预设范围内；

当第二绝对值在第二预设范围外时，确定多个第一特征点中剩余的第一特征点和参照点为位于同一街区的特征点；

当第二绝对值在第二预设范围内时，确定多个第二坐标差值中最小的第二坐标差值对应的第一特征点和参照点为位于同一街区的特征点。

本发明的实施例还提供了一种划片机查找同一街区特征点的装置，包括：

第一获取模块，用于在划片机采集到的待分割工件的图片中，存在多个与划片机中预先存储的标准模板数据相匹配的特征点时，获取待分割工件在一坐标系中X轴方向的第一分度值，以及Y轴方向的第二分度值；

第二获取模块，用于获取多个特征点中每个特征点在坐标系中X轴上的第一坐标值，以及Y轴上的第二坐标值；

查找模块，用于根据第一分度值、第二分度值、多个特征点的第一坐标值和第二坐标值，从多个特征点中查找出位于同一街区的特征点。

其中，第一坐标值和第二坐标值均大于零，

查找模块包括：

第一查找子模块，用于将多个第一坐标值中最小的第一坐标值对应的特征点作为参照点；