[发明专利]干涉及投影一体化非球面偏心检测仪及其检测方法

权利要求书

1.利用干涉及投影一体化非球面偏心检测仪进行非球面偏心检测的方法，所述的干涉及投影一体化非球面偏心检测仪包括激光光学系统A（1）和激光光学系统B（9），所述的激光光学系统A（1）底部固定设置多维位移平台A（2），所述的多维位移平台A（2）下方配合设置多维位移平台B（7），所述的多维位移平台B（7）下方配合设置激光光学系统B（9），所述的多维位移平台B（7）上固定设置镜片夹具（6），其特征在于包括以下步骤：

1）检测非球面镜片（5）上下两个表面的相对水平位移偏心时，将激光光学系统A（1）和激光光学系统B（9）同时打开，激光光学系统A（1）发射出来的激光束A（4）和激光光学系统B（9）发射出来的激光束B（11）分别照射在被测非球面镜片（5）的上下两个表面上，并且在上表面球心环（12）和下表面球心环（15）上形成反射光路，分别得到上表面球心环像和下表面球心环像，通过分析确定出上下两个面形成的上表面球心环像和下表面球心环像的中心点相对位置的数值，即得出非球面上下两个表面的相对水平位移偏心数值；

2）检测非球面镜片（5）上表面相对于非球面镜片（5）外圆轮廓的偏心数值时，将激光光学系统B（9）打开，关闭激光光学系统A（1）的光源，但不关闭激光光学系统A（1）的接收装置，激光光学系统B（9）的激光束B（11）穿过被测非球面镜片（5）时，部分光被被测非球面镜片（5）的形状遮挡，无法穿透，只有边缘部分的光束进入激光光学系统A（1）的接收装置，形成边缘轮廓影像，之后将上/下表面球心环像（16）的中心点与边缘轮廓影像重叠，即得到上表面相对于非球面镜片外圆轮廓的偏心数值；

3）检测非球面镜片（5）下表面对于非球面镜片非球面镜片（5）外圆轮廓的偏心数值时，将激光光学系统A（1）打开，关闭激光光学系统B（9）的光源，但不关闭激光光学系统B（9）的接收装置，激光光学系统A（1）的激光束A（4）穿过被测非球面镜片（5）时，部分光被被测非球面镜片（5）的形状遮挡，无法穿透，只有边缘部分的光束进入激光光学系统B（9）的接收装置，形成边缘轮廓影像，之后将上/下表面球心环像（16）的中心点与边缘轮廓的影像重叠，即可得到下表面相对于非球面镜片外圆轮廓的偏心数值；

4）检测非球面镜片（5）整体倾斜数值的时，将激光光学系统A（1）打开，并且观察平面环（13）的反射干涉图形，之后通过计算干涉条纹，得出被测非球面镜片（5）的整体倾斜情况。

2.如权利要求1所述的利用干涉及投影一体化非球面偏心检测仪进行非球面偏心检测的方法，其特征在于所述的激光光学系统B（9）设置在底座（10）上，所述的底座（10）上固定设置支架B（8），所述的支架B（8）上设置多维位移平台B（7）和支架A（3），所述的支架A（3）上设置多维位移平台A（2）。

3.如权利要求2所述的利用干涉及投影一体化非球面偏心检测仪进行非球面偏心检测的方法，其特征在于所述的支架A（3）包括立柱A（301）和固定板A（302），所述的固定板A（302）上设有供光路通过的通孔A（303），所述的支架B（8）包括立柱B（801）和固定板B（802），所述的固定板B（802）上设有供光路通过的通孔B（803）。

4.如权利要求3所述的利用干涉及投影一体化非球面偏心检测仪进行非球面偏心检测的方法，其特征在于所述的多维位移平台A（2）设置在固定板A（302）上，所述的多维位移平台B（7）设置在固定板B（802）上。