[发明专利]干涉及投影一体化非球面偏心检测仪及其检测方法

说明书

干涉及投影一体化非球面偏心检测仪及其检测方法，属于光学检测技术领域。该检测仪包括激光光学系统A和激光光学系统B，所述的激光光学系统A底部固定设置多维位移平台A，所述的多维位移平台A下方配合设置多维位移平台B，所述的多维位移平台B下方配合设置激光光学系统B，所述的多维位移平台B上固定设置镜片夹具。本发明能够在同一台设备上，检测多种类型镜片的偏心和倾斜问题，不但提高了镜片的检测精度，还大大加快了镜片的检测速度，不但提升了企业的产品品质，同时也能提高企业的生产经济效益。

技术领域

本发明属于光学检测技术领域，具体涉及干涉及投影一体化非球面偏心检测仪及其检测方法。

背景技术

目前市场上，针对非球面镜片加工精度的偏心检测技术，大部分还只停留在接触式上，有少部分非接触式的光学测量方法，又都只能检测面型问题，无法检测镜片的加工以及组装偏心、倾斜问题，给镜头的成像质量带来了隐患。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的目的在于设计提供干涉及投影一体化非球面偏心检测仪及其检测方法的技术方案。

所述的干涉及投影一体化非球面偏心检测仪，其特征在于包括激光光学系统A和激光光学系统B，所述的激光光学系统A底部固定设置多维位移平台A，所述的多维位移平台A下方配合设置多维位移平台B，所述的多维位移平台B下方配合设置激光光学系统B，所述的多维位移平台B上固定设置镜片夹具。

所述的干涉及投影一体化非球面偏心检测仪，其特征在于所述的激光光学系统B设置在底座上，所述的底座上固定设置支架B，所述的支架B上设置多维位移平台B和支架A，所述的支架A上设置多维位移平台A。

所述的干涉及投影一体化非球面偏心检测仪，其特征在于所述的支架A包括立柱A和固定板A，所述的固定板A上设有供光路通过的通孔A，所述的支架B包括立柱B和固定板B，所述的固定板B上设有供光路通过的通孔B。

所述的干涉及投影一体化非球面偏心检测仪，其特征在于所述的多维位移平台A设置在固定板A上，所述的多维位移平台B设置在固定板B上。

所述的利用干涉及投影一体化非球面偏心检测仪进行非球面偏心检测的方法，其特征在于包括以下步骤：

1）检测非球面镜片上下两个表面的相对水平位移偏心时，将激光光学系统A和激光光学系统B同时打开，激光光学系统A发射出来的激光束A和激光光学系统B发射出来的激光束B分别照射在被测非球面镜片的上下两个表面上，并且在上表面球心环和下表面球心环上形成反射光路，分别得到上/下表面球心环像，通过分析确定出上下两个面形成的上/下表面球心环像的中心点相对位置的数值，即得出非球面上下两个表面的相对水平位移偏心数值；

2）检测非球面镜片上表面相对于非球面镜片外圆轮廓的偏心数值时，将激光光学系统B打开，关闭激光光学系统A的光源，但不关闭激光光学系统A的接收装置，激光光学系统B的激光束B穿过被测非球面镜片时，部分光被被测非球面镜片的形状遮挡，无法穿透，只有边缘部分的光束进入激光光学系统A的接收装置，形成边缘轮廓影像，之后将上/下表面球心环像的中心点与边缘轮廓影像重叠，即得到上表面相对于非球面镜片外圆轮廓的偏心数值；

3）检测非球面镜片下表面对于非球面镜片非球面镜片外圆轮廓的偏心数值时，将激光光学系统A打开，关闭激光光学系统B的光源，但不关闭激光光学系统B的接收装置，激光光学系统A的激光束A穿过被测非球面镜片时，部分光被被测非球面镜片的形状遮挡，无法穿透，只有边缘部分的光束进入激光光学系统B的接收装置，形成边缘轮廓影像，之后将上/下表面球心环像的中心点与边缘轮廓的影像重叠，即可得到上表面相对于非球面镜片外圆轮廓的偏心数值；

4）检测非球面镜片整体倾斜数值的时，将激光光学系统A打开，并且观察平面环的反射干涉图形，之后通过计算干涉条纹，得出被测非球面镜片的整体倾斜情况。