[发明专利]流体控制阀

权利要求书

1.一种流体控制阀，其特征在于，具有：

驱动部；

阀体，具有第一端口、第二端口、阀座；及

阀芯，形成为柱状，且与所述驱动部连结，

所述阀芯具有环状密封突起，该环状密封突起在位于阀座侧的阀 座侧端面上呈环状地突出设置且在前端部设置有被压靠于所述阀座而 进行密封的环状密封部，至少所述环状密封突起为氟树脂制，

所述阀芯在利用所述驱动部将所述环状密封部压靠于所述阀座 时，所述环状密封部在径向上位移的位移量为6.175μm以下。

2.一种流体控制阀，其特征在于，具有：

驱动部；

阀体，具有第一端口、第二端口、阀座；及

阀芯，形成为柱状，且与所述驱动部连结，

所述阀芯具有环状密封突起，该环状密封突起在位于阀座侧的阀 座侧端面上呈环状地突出设置且在前端部设置有被压靠于所述阀座而 进行密封的环状密封部，至少所述环状密封突起为氟树脂制，

所述阀芯在利用所述驱动部将所述环状密封部压靠于所述阀座 时，所述环状密封部在径向上位移的位移量相对于与所述阀座未抵接 时的所述环状密封部的直径为12.4×10^-4倍以下。

3.一种流体控制阀，其特征在于，具有：

驱动部；

阀体，具有第一端口、第二端口、阀座；及

阀芯，形成为柱状，且与所述驱动部连结，

所述阀芯具有环状密封突起，该环状密封突起在位于阀座侧的阀 座侧端面上呈环状地突出设置且在前端部设置有被压靠于所述阀座而 进行密封的环状密封部，至少所述环状密封突起为氟树脂制，

所述阀座侧端面的直径为与所述阀座未抵接时的所述环状密封部 的直径的1.3倍以上。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的流体控制阀，其特征在于，

所述阀座侧端面的直径为与所述阀座未抵接时的所述环状密封部 的直径的1.3倍以上。

5.根据权利要求4所述的流体控制阀，其特征在于，

所述阀芯的最细部分的直径比所述环状密封部的直径小。

6.根据权利要求5所述的流体控制阀，其特征在于，

所述阀芯的所述环状密封部的径向中心位置的轴线方向的厚度相 对于所述环状密封部的直径为0.7倍以上。

7.根据权利要求5所述的流体控制阀，其特征在于，

所述阀芯在所述环状密封突起的内侧具有从所述阀座侧端面向阀 座方向突出的凸部。

8.根据权利要求6所述的流体控制阀，其特征在于，

所述阀芯在所述环状密封突起的内侧具有从所述阀座侧端面向阀 座方向突出的凸部。

9.根据权利要求7所述的流体控制阀，其特征在于，

所述凸部的与所述阀座侧端面连接的基端部的直径为所述阀芯的 最细部分的直径以上。

10.根据权利要求8所述的流体控制阀，其特征在于，

所述凸部的与所述阀座侧端面连接的基端部的直径为所述阀芯的 最细部分的直径以上。

11.根据权利要求1～权利要求3中任一项所述的流体控制阀，其 特征在于，

所述环状密封突起由PFA形成。

12.根据权利要求3所述的流体控制阀，其特征在于，

所述阀芯的所述环状密封部的径向中心位置的轴线方向的厚度相 对于所述环状密封部的直径为0.7倍以上。