[发明专利]横向耦合多模单片滤波器

权利要求书

1.一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：

衬底；

压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；

地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；以及

多个信号电极，所述多个信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且彼此并联布置，所述第二表面与所述第一表面相反，所述多个信号电极中的每一个包括第一电极指和第二电极指，

其中，所述第一电极指和所述第二电极指具有不同的电位，

所述多个信号电极中的相邻信号电极彼此相距一定距离，所述距离大于所述第一电极指和所述第二电极指的节距，并且

空隙或声反射镜形成在所述地电极或所述多个信号电极与所述衬底之间。

2.根据权利要求1所述的横向耦合多模单片滤波器，其中

在所述相邻信号电极中的对应信号电极中各自包括的相邻电极指具有相同的电位。

3.根据权利要求1所述的横向耦合多模单片滤波器，其中

反射传播通过所述压电膜的声波的单个空隙形成在所述地电极、所述压电膜和所述多个信号电极下方，使得所述多个信号电极形成在所述单个空隙上方。

4.根据权利要求1所述的横向耦合多模单片滤波器，其中

所述信号电极包括第三电极指，该第三电极指具有与所述第一电极指的电位和所述第二电极指的电位不同的电位。

5.根据权利要求1所述的横向耦合多模单片滤波器，其中

所述多个信号电极作为电路并联连接。

6.根据权利要求1所述的横向耦合多模单片滤波器，其中

所述第一电极指和所述第二电极指的所述节距是平均节距。

7.一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：

衬底；

压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；

地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；以及

多个信号电极，所述多个信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且彼此并联布置，所述第二表面与所述第一表面相反，所述多个信号电极中的每一个包括第一电极指和第二电极指，

其中，所述第一电极指和所述第二电极指具有不同的电位，

所述多个信号电极中的相邻信号电极彼此相距一定距离，所述距离大于所述第一电极指和所述第二电极指的节距，并且

所述压电膜在所述相邻信号电极之间的至少一部分被去除。

8.一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：

衬底；

压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；

地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；以及

多个信号电极，所述多个信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且彼此并联布置，所述第二表面与所述第一表面相反，所述多个信号电极中的每一个包括第一电极指和第二电极指，

其中，所述第一电极指和所述第二电极指具有不同的电位，

所述多个信号电极中的相邻信号电极彼此相距一定距离，所述距离大于所述第一电极指和所述第二电极指的节距，并且

该横向耦合多模单片滤波器还包括介电膜，该介电膜形成在所述相邻信号电极之间的所述压电膜中并且与所述压电膜不同。

9.一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：

衬底；

压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；

地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；以及

信号电极，该信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且包括第一电极指和第二电极指，所述第二表面与所述第一表面相反，所述第二电极指具有与所述第一电极指的电位不同的电位，

其中，所述压电膜在所述第一电极指和所述第二电极指的布置方向上在所述信号电极的外侧的至少一部分被去除。