[发明专利]一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法在审
申请号: | 201510943155.3 | 申请日: | 2015-12-16 |
公开(公告)号: | CN105551935A | 公开(公告)日: | 2016-05-04 |
发明(设计)人: | 李静;刘科高;许超;徐勇;石磊 | 申请(专利权)人: | 山东建筑大学 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L31/18;C25D9/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 250101 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 醋酸 制备 硫化锌 光电 薄膜 方法 | ||
1.一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,包括如下顺序的步骤:
a.二氧化锡导电玻璃基片的清洗;
b.将1.0~2.0份C6H5Na3O7·2H2O、4.5~9.0份Zn(CH3COO)2、65.0~130.0份Na2S2O3· 5H2O放入2700.0~5400.0份的蒸馏水中,使溶液中的物质溶解;
c.采用电沉积法将步骤b所述溶液在导电玻璃片上沉积得到前驱体薄膜,自然干燥,得 到前驱体薄膜样品;
d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,在水合联氨中加入升华硫粉,前驱体薄膜 样品不与水合联氨接触,将前驱体薄膜和水合联氨放入管式炉中;将管式炉加热至250~ 400℃之间,保温时间3~9h,然后冷却到室温取出;
e.将步骤d所得物,进行自然干燥,得到硫化锌薄膜。
2.如权利要求1所述的一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,其特征在于,步骤a 所述清洗,是将导电玻璃基片大小为20mm×20mm,放入体积比丙酮:蒸馏水=5:1的溶液中, 超声波清洗30min;再将基片放入乙醇中,超声波清洗30min;再在蒸馏水中将玻璃基片用超 声振荡30min;将上述得到的玻璃基片排放在玻璃皿中送入烘箱中,在100℃下烘干供制膜 用。
3.如权利要求1所述的一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,其特征在于,步骤c 所述,是将溶液加入三电极装置中,以饱和甘汞电极为参比电极,铂电极为辅助电极,二氧 化锡导电玻璃为研究电极,采用晶体管恒电位仪在沉积电位为2V下常温沉积薄膜,沉积时 间为30min,自然干燥得到前驱体薄膜样品。
4.如权利要求1所述的一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,其特征在于,步骤d 所述管式炉内放入40.0~50.0份水合联氨、1.0~2.0份升华硫粉。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造