[发明专利]一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法在审

专利信息
申请号: 201510943155.3 申请日: 2015-12-16
公开(公告)号: CN105551935A 公开(公告)日: 2016-05-04
发明(设计)人: 李静;刘科高;许超;徐勇;石磊 申请(专利权)人: 山东建筑大学
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L31/18;C25D9/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 250101 *** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 醋酸 制备 硫化锌 光电 薄膜 方法
【权利要求书】:

1.一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,包括如下顺序的步骤:

a.二氧化锡导电玻璃基片的清洗;

b.将1.0~2.0份C6H5Na3O7·2H2O、4.5~9.0份Zn(CH3COO)2、65.0~130.0份Na2S2O3· 5H2O放入2700.0~5400.0份的蒸馏水中,使溶液中的物质溶解;

c.采用电沉积法将步骤b所述溶液在导电玻璃片上沉积得到前驱体薄膜,自然干燥,得 到前驱体薄膜样品;

d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,在水合联氨中加入升华硫粉,前驱体薄膜 样品不与水合联氨接触,将前驱体薄膜和水合联氨放入管式炉中;将管式炉加热至250~ 400℃之间,保温时间3~9h,然后冷却到室温取出;

e.将步骤d所得物,进行自然干燥,得到硫化锌薄膜。

2.如权利要求1所述的一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,其特征在于,步骤a 所述清洗,是将导电玻璃基片大小为20mm×20mm,放入体积比丙酮:蒸馏水=5:1的溶液中, 超声波清洗30min;再将基片放入乙醇中,超声波清洗30min;再在蒸馏水中将玻璃基片用超 声振荡30min;将上述得到的玻璃基片排放在玻璃皿中送入烘箱中,在100℃下烘干供制膜 用。

3.如权利要求1所述的一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,其特征在于,步骤c 所述,是将溶液加入三电极装置中,以饱和甘汞电极为参比电极,铂电极为辅助电极,二氧 化锡导电玻璃为研究电极,采用晶体管恒电位仪在沉积电位为2V下常温沉积薄膜,沉积时 间为30min,自然干燥得到前驱体薄膜样品。

4.如权利要求1所述的一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,其特征在于,步骤d 所述管式炉内放入40.0~50.0份水合联氨、1.0~2.0份升华硫粉。

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