[发明专利]一种硅片边缘修复磨面机有效
申请号: | 201510951588.3 | 申请日: | 2015-12-17 |
公开(公告)号: | CN105583705B | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 申炳荣 | 申请(专利权)人: | 浙江昊能光电股份有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06;B24B41/02;B24B41/06;B24B41/00 |
代理公司: | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265 | 代理人: | 蔡鼎 |
地址: | 314415 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 边缘 修复 磨面机 | ||
1.一种硅片边缘修复磨面机,包括机架(1)和磨轮(2),机架(1)前端具有可前后移动的工作台面(3),磨轮(2)位于工作台面(3)后方,其特征在于,在磨轮(2)前方设置有硅片对齐装置,硅片对齐装置包括焊接固连在机架(1)侧面的一根竖直设置的立柱,立柱上端通过铰接轴(5)转动连接有可摆动的支撑板(6),铰接轴(5)固定在支撑板(6)底部,支撑板(6)上固定有对齐气缸(7),对齐气缸(7)的推杆的前端固定有方板(8),方板(8)与支撑板(6)垂直设置,立柱上固定有驱动铰接轴(5)转动或支撑板(6)摆动的驱动机构,立柱上固定有阻挡杆(9),当支撑板(6)处于水平状态时阻挡杆(9)与支撑板(6)的前端底部相抵靠且阻止支撑板(6)继续摆动,所述对齐气缸(7)由电磁阀(10)控制且在工作台面(3)上设有可检测方板(8)到位并向电磁阀(10)发出信号的感应开关(11),工作台面(3)上设有竖直设置的矫正立板(12),矫正立板(12)与对齐气缸(7)正对;驱动机构包括固定在立柱上的驱动电机(13)和固定在铰接轴(5)一端的齿轮一(14),驱动电机(13)的输出轴上固定有与齿轮一(14)相啮合的齿轮二(15);或者驱动机构包括固定在立柱上的驱动气缸(16),驱动气缸(16)的推杆与支撑板(6)一端铰接;所述立柱为可伸缩结构,立柱分为下空心管(17)和上空心管(17),上空心管(17)的外径等于下空心管(17)的内径且可插入下空心管(17)中,下空心管(17)上端螺纹连接有若干调节螺栓(19),调节螺栓(19)的内端可与上空心管(17)相抵靠。
2.根据权利要求1所述的一种硅片边缘修复磨面机,其特征在于,调节螺栓(19)具有三个且沿着下空心管(17)长度方向一字排列。
3.根据权利要求2所述的一种硅片边缘修复磨面机,其特征在于,所述工作台面(3)上铺设有一层用于放置硅片的钢化玻璃(4)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片边缘修复磨面机,其特征在于,当支撑板(6)转到水平位置时所述方板(8)下端面与钢化玻璃(4)上表面贴合。
5.根据权利要求4所述的一种硅片边缘修复磨面机,其特征在于,所述铰接轴(5)中间固定有挡块(20),铰接轴(5)的外端具有螺纹且套设有螺母(21),转动螺母(21)后可以使挡块(20)与立柱上端紧紧相抵靠。
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