[发明专利]一种硅片边缘修复磨面机有效
申请号: | 201510951588.3 | 申请日: | 2015-12-17 |
公开(公告)号: | CN105583705B | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 申炳荣 | 申请(专利权)人: | 浙江昊能光电股份有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06;B24B41/02;B24B41/06;B24B41/00 |
代理公司: | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265 | 代理人: | 蔡鼎 |
地址: | 314415 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 边缘 修复 磨面机 | ||
本发明提供了一种硅片边缘修复磨面机,属于硅片技术领域。本硅片边缘修复磨面机,包括机架和磨轮,机架前端具有可前后移动的工作台面,磨轮位于工作台面后方,在磨轮前方设置有硅片对齐装置,硅片对齐装置包括焊接固连在机架侧面的一根竖直设置的立柱,立柱上端通过铰接轴转动连接有可摆动的支撑板,铰接轴固定在支撑板底部,支撑板上固定有对齐气缸,对齐气缸的推杆的前端固定有方板,方板与支撑板垂直设置,立柱上固定有驱动铰接轴转动或支撑板摆动的驱动机构,立柱上固定有阻挡杆,工作台面上设有竖直设置的矫正立板,矫正立板与对齐气缸正对。本发明通过对齐装置可将硅片位置进行矫正,即提高了硅片位置的精确性,又提高了硅片的质量。
技术领域
本发明属于硅片技术领域,涉及一种硅片边缘修复磨面机。
背景技术
太阳能电池生产企业制造太阳能电池的一般工序为:清洗制绒、扩散、去磷硅玻璃、PECVD、丝网印刷、烧结、测试。由于太阳能电池制造过程工序较多,因此在生产过程中,尤其是丝网印刷工序中,可能会出现电池硅片边缘被污染的情况,导致边缘漏电,最终会导致电池硅片的各项性能下降,影响良率。因此,需要对电池硅片进行去污处理。
以往技术中,对电池硅片进行去污处理的方式为:人工用砂纸打磨电池硅片边缘,以去除边缘的污染部分,使得电池硅片的各项性能恢复正常。但是,由于电池硅片的厚度仅为180um~200um,人工打磨时很容易碎片,同时人工打磨不均匀,这都导致不能实现对电池硅片的有效去污。
为了解决上述问题,中国发明专利申请(申请号:201110252906.9)公开了一种硅片打磨装置。该装置包括:微型电动机、打磨头、电池;所述微型电动机的本体轴伸顶端与其机身相连,末端设置有打磨硅片的所述打磨头;所述电池与所述微型电动机相连。该发明可代替人工打磨,降低硅片碎片率和提高打磨均匀性,可实现对电池硅片的有效去污。不过在硅片送至该发明打磨头处的过程中,硅片位置容易产生偏差,会使得硅片的精度得不到提高,因此硅片的整体质量会有所下降。
发明内容
本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种硅片边缘修复磨面机。
本发明的目的可通过下列技术方案来实现:一种硅片边缘修复磨面机,包括机架和磨轮,机架前端具有可前后移动的工作台面,磨轮位于工作台面后方,其特征在于,在磨轮前方设置有硅片对齐装置,硅片对齐装置包括焊接固连在机架侧面的一根竖直设置的立柱,立柱上端通过铰接轴转动连接有可摆动的支撑板,铰接轴固定在支撑板底部,支撑板上固定有对齐气缸,对齐气缸的推杆的前端固定有方板,方板与支撑板垂直设置,立柱上固定有驱动铰接轴转动或支撑板摆动的驱动机构,立柱上固定有阻挡杆,当支撑板处于水平状态时阻挡杆与支撑板的前端底部相抵靠且阻止支撑板继续摆动,所述对齐气缸由电磁阀控制且在工作台面上设有可检测方板到位并向电磁阀发出信号的感应开关,工作台面上设有竖直设置的矫正立板,矫正立板与对齐气缸正对。
原理:硅片位于工作台面上,通过对齐装置进行对齐后,工作台面向后移动,将硅片靠近磨轮,进行边缘修复作业,完成后工作台面复位。
铰接轴上固定连接有定位架,定位架与支撑板下端固连,铰接轴转动可带动支撑板摆动,同样支撑板摆动会带动铰接轴转动。电磁阀位于对齐气缸上方,感应开关位于工作台面上的边沿处。其中立柱上阻挡杆的设置可限制支撑板的摆动范围,当支撑板处于水平状态时阻挡杆与支撑板的前端底部相抵靠,便于操作人员能快速将支撑板调节到水平状。
驱动机构包括固定在立柱上的驱动电机和固定在铰接轴一端的齿轮一,驱动电机的输出轴上固定有与齿轮一相啮合的齿轮二。
立柱上设有支撑驱动电机的托板,驱动电机的输出轴一端靠近立柱,启动驱动电机,驱动电机上的输出轴带动齿轮二转动,齿轮二转动会带动与其相互啮合的齿轮一转动,铰接轴随齿轮一同步转动,铰接轴转动会带动支撑板摆动,便于操作人员的调节。
驱动机构包括固定在立柱上的驱动气缸,驱动气缸的推杆与支撑板一端铰接。
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