[发明专利]一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置在审

专利信息
申请号: 201510962286.6 申请日: 2015-12-21
公开(公告)号: CN105572043A 公开(公告)日: 2016-05-11
发明(设计)人: 张文龙;苗亮;刘钰;王辉;周烽;郭本银;马冬梅;金春水 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/45
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 南小平
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 光学 均匀 测试 柔性 支撑 装置
【权利要求书】:

1.一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置,其特征在于,包括片体底板 (1)、柔性片体(2)、片体顶板(3)和限位块(4);

多个所述柔性片体(2)一端均匀设置在圆环形的片体底板(1)和圆环形 的片体顶板(3)之间,另一端位于片体底板(1)和片体顶板(3)的中空区域, 多个所述限位块(4)一端的下表面均匀固定在所述片体顶板(3)上端面上, 所述限位块(4)的另一端的侧壁和被测试样品(5)外圆柱面接触。

2.根据权利要求1所述的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置,其特 征在于,多个所述柔性片体(2)上表面位于同一水平高度。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置, 其特征在于,所述柔性片体(2)的数量的取值范围为:3-16。

4.根据权利要求1或2所述的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置, 其特征在于,所述柔性片体(2)的厚度的取值范围为:0.1-0.5mm。

5.根据权利要求1或2所述的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置, 其特征在于,所述柔性片体(2)的长度的取值范围为:10-30mm。

6.根据权利要求1或2所述的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置, 其特征在于,所述柔性片体(2)的材料为钢。

7.根据权利要求1所述的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置,其特 征在于,所述限位块(4)的数量为三个。

8.根据权利要求1所述的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置,其特 征在于,所述限位块(4)和被测试样品(5)外圆柱面的接触面为半圆柱面。

9.根据权利要求1所述的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置,其特 征在于,所述圆环形的片体底板(1)和圆环形的片体顶板(3)的中空区域在 用于干涉法测量光学均匀性时通光。

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