[发明专利]一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置

说明书

技术领域

本发明属于光学材料光学均匀性测试技术领域，具体涉及一种用于光学均 匀性测试的柔性支撑装置。

背景技术

光学材料的光学均匀性是指一块光学玻璃内部折射率的不一致性，常用光 学材料内部折射率的最大差值表示，它直接影响透射光学系统的波面质量，改 变透射光学系统波像差。光学均匀性是光学材料使用和加工中必不可少的参数。 随着现代科学技术和国防事业的发展，一些透射光学系统对制造它们的光学玻 璃的质量要求越来越高。极紫外光刻相关技术对透射光学系统的波面质量要求 非常高，达纳米量级，而光学材料的受力状态变化会影响光学材料内部折射率 分布的变化。在投影光刻物镜中，光学元件的支撑、固定和装配大多采用多点 粘胶和柔性铰链等结构，以最大限度的减小外部应力对光学元件面形的影响， 因此，在对光学均匀性要求极高的情况下，检测光学均匀性时被测试样品的支 撑方式要尽量与样品未来应用时的支撑方式一致。

目前国内外普遍使用的光学均匀性检测方法为基于高精度干涉仪的干涉测 试法。在实际检测过程中，大多采用通用夹具装夹被测试样品，将引入较大的 应力而改变光学材料内部折射率分布，未见有专门设计的支撑结构用于光学均 匀性测试。

发明内容

本发明的目的在于提出一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置，解决现 有技术存在的通用夹具引入较大应力的问题。在检测光学材料光学均匀性时， 使光学材料受力状态与未来工作的受力状态一致，提高光学均匀性测试的准确 性、测试数据有效性。

为实现上述目的，本发明的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置包括 片体底板、柔性片体、片体顶板和限位块；

多个所述柔性片体一端均匀设置在圆环形的片体底板和圆环形的片体顶板 之间，另一端位于片体底板和片体顶板的中空区域，多个所述限位块一端的下 表面均匀固定在所述片体顶板上端面上，所述限位块的另一端的侧壁和被测试 样品外圆柱面接触。

多个所述柔性片体上表面位于同一水平高度。

所述柔性片体的数量的取值范围为：3-16。

所述柔性片体的厚度的取值范围为：0.1-0.5mm。

所述柔性片体的长度的取值范围为：10-30mm。

所述柔性片体的材料为钢。

所述限位块的数量为三个。

所述限位块和被测试样品外圆柱面的接触面为半圆柱面。

所述圆环形的片体底板和圆环形的片体顶板的中空区域在用于干涉法测量 光学均匀性时通光。

本发明的有益效果为：本发明的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置 中的多个柔性片体相互独立安置于底板上，多个柔性片体上表面处于同一水平 高度，片体顶板安置于柔性片体上方并将柔性片体压紧固定。被测试样品安放 在多个柔性片体上，被测试样品侧壁和三个限位块的侧壁接触，通过三个样品 限位块限制被测试样品的径向位移。被测试样品的受力状态与未来实际应用中 的多点粘胶支撑方式受力状态一致，减小了由于光学材料受力状态不一致导致 的光学均匀性测试误差，提高了光学均匀性测试的准确性、测试数据有效性。

附图说明

图1为本发明的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置结构示意图；

图2为本发明的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置支撑被测试样品 时状态图；

其中：1、片体底板，2、柔性片体，3、片体顶板，4、限位块，5、被测试 样品。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的实施方式作进一步说明。

参见附图1和附图2，本发明的一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置包 括片体底板1、柔性片体2、片体顶板3和限位块4；

多个所述柔性片体2一端均匀设置在圆环形的片体底板1和圆环形的片体 顶板3之间，另一端位于片体底板1和片体顶板3的中空区域，多个所述限位 块4一端的下表面均匀固定在所述片体顶板3上端面上，所述限位块4的另一 端的侧壁和被测试样品5外圆柱面接触。

多个所述柔性片体2上表面位于同一水平高度。

所述柔性片体2的数量的取值范围为：3-16。

所述柔性片体2的厚度的取值范围为：0.1-0.5mm。

所述柔性片体2的长度的取值范围为：10-30mm。

所述柔性片体2的材料为钢。

所述限位块4的数量为三个。