[发明专利]基板的检测设备及方法有效
申请号: | 201510981448.0 | 申请日: | 2015-12-23 |
公开(公告)号: | CN106908454B | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 胡贤夫;陈策;孙健;孙静;蔡灿 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 赵剑飞;龚敏 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 设备 方法 | ||
1.一种基板的检测设备,其特征在于,包括:基座、固定结构、发射模块、接收模块和检测模块;
所述固定结构设置在所述基座的上表面的边缘;
所述发射模块设置在所述基座的上表面;
所述接收模块设置在所述基座的上表面,且与所述发射模块相邻设置;
所述检测模块与所述发射模块电连接,以及,所述检测模块与所述接收模块电连接;
所述发射模块,用于向待检测基板发射第一光信号;
所述接收模块,用于接收所述待检测基板反射回的第二光信号;
所述检测模块,用于根据所述第一光信号和所述第二光信号,通过比较所述第一光信号与所述第二光信号之间的差异,检测基板的异常;
所述检测模块具体用于根据所述第一光信号的光通量和所述第二光信号的光通量,检测所述待检测基板是否异常,以及,输出用于指示所述待检测基板是否异常的信号;获得所述第一光信号的光通量与所述第二光信号的光通量的比值;判断所述比值是否位于第一预设数值范围内;若所述比值不位于所述第一预设数值范围内,确定待检测基板异常;或者,获得所述第一光信号的光通量与所述第二光信号的光通量的差值;判断所述差值是否位于第二预设数值范围内;若所述差值不位于所述第二预设数值范围内,确定待检测基板异常。
2.根据权利要求1所述的检测设备,其特征在于,
所述接收模块与所述发射模块的数目相等;
所述发射模块的数量为一个以上。
3.根据权利要求1或2所述的检测设备,其特征在于,所述检测设备还包括:报警模块;
所述报警模块与所述检测模块电连接。
4.根据权利要求1或2所述的检测设备,其特征在于,所述发射模块包括发光二极管LED或者卤素灯。
5.根据权利要求1或2所述的检测设备,其特征在于,所述接收模块包括光敏传感器或者电荷耦合器件图像传感器。
6.一种基板的检测方法,其特征在于,基于如权利要求1-5任一所述的检测设备,
所述检测方法包括:
发射模块向待检测基板发射第一光信号;
接收模块接收所述待检测基板反射回的第二光信号;
检测模块根据所述第一光信号和所述第二光信号,通过比较所述第一光信号与所述第二光信号之间的差异,检测基板的异常;
所述检测模块根据所述第一光信号和所述第二光信号,通过比较所述第一光信号与所述第二光信号之间的差异,检测基板的异常,包括:
所述检测模块根据所述第一光信号的光通量和所述第二光信号的光通量,检测所述待检测基板是否异常,以及,输出用于指示所述待检测基板是否异常的信号;
所述检测模块根据所述第一光信号的光通量和所述第二光信号的光通量,检测所述待检测基板是否异常,包括:
所述检测模块获得所述第一光信号的光通量与所述第二光信号的光通量的比值;
所述检测模块判断所述比值是否位于第一预设数值范围内;
若所述比值不位于所述第一预设数值范围内,所述检测模块确定所述待检测基板异常;
或者,
所述检测模块根据获得的所述第一光信号的光通量与所述第二光信号的光通量,计算出两者的差值;
所述检测模块判断所述差值是否位于第二预设数值范围内;
若所述差值不位于所述第二预设数值范围内,所述检测模块确定所述待检测基板异常。
7.根据权利要求6所述的检测方法,其特征在于,所述检测模块输出所述待检测基板异常的信号,包括:
所述检测模块向报警模块输出所述待检测基板异常的信号,以使得所述报警模块根据所述待检测基板异常的信号输出报警信号。
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