[发明专利]基板的检测设备及方法

说明书

本发明提供一种基板的检测设备及方法。本发明提供的基板的检测设备，包括：基座、固定结构、发射模块、接收模块和检测模块；所述固定结构设置在所述基座的上表面的边缘；所述发射模块设置在所述基座的上表面；所述接收模块设置在所述基座的上表面，且与所述发射模块相邻设置；所述检测模块与所述发射模块电连接，以及，所述检测模块与所述接收模块电连接。本发明实现了及时检测到基板是否异常，降低了因基板异常而造成设备污染的次数，提高了生产效率,而且能够节约资源。

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种基板的检测设备及方法。

背景技术

目前，在平板显示及半导体行业中，生产液晶显示器的工艺通常分为几个步骤：基板制备，即在较大的基板上形成若干独立的像素阵列；成盒，即在阵列基板上涂布液晶，并切割成独立的液晶显示屏；安装，即为液晶显示屏安装光源等，形成完整的液晶显示器。

制备基板的原材料通常为玻璃基板，在制备基板的过程中会在不同的工艺设备之间进行传输，在传输过程中玻璃基板会与传送设备发生频繁的接触和碰撞，从而很有可能使得玻璃基板产生不良，使得生产设备在生产过程中受到污染。

因此，如何能够及时有效的检测出基板是否异常，减少因基板异常而造成设备污染,对于平板显示及半导体行业尤为重要。

发明内容

本发明提供一种基板的检测设备及方法，实现了及时检测到基板是否异常，降低了因基板异常而造成设备污染的次数，提高了生产效率,而且能够节约资源。

本发明提供一种基板的检测设备，包括：基座、固定结构、发射模块、接收模块和检测模块；

所述固定结构设置在所述基座的上表面的边缘；

所述发射模块设置在所述基座的上表面；

所述接收模块设置在所述基座的上表面，且与所述发射模块相邻设置；

所述检测模块与所述发射模块电连接，以及，所述检测模块与所述接收模块电连接。

进一步地，上述检测设备中，所述发射模块与所述接收模块的数目相等；所述发射模块的数量为一个以上。

进一步地，上述检测设备中，所述检测设备还包括：报警模块；

所述报警模块与所述检测模块电连接。

进一步地，上述检测设备中，所述发射模块包括发光二极管LED或者卤素灯。

进一步地，上述检测设备中，所述接收模块包括光敏传感器或者电荷藕合器件图像传感器。

本发明还提供一种基板的检测方法，应用于上述任一检测设备，所述检测方法包括：

发射模块向所述待检测基板发射第一光信号；

接收模块接收所述待检测基板反射回的第二光信号；

检测模块根据所述第一光信号和所述第二光信号，通过比较所述第一光信号与所述第二光信号之间的差异，检测基板的异常。。

进一步地，上述检测方法中，所述检测模块根据所述第一光信号和所述第二光信号，通过比较所述第一光信号与所述第二光信号之间的差异，检测基板的异常，包括：

所述检测模块根据所述第一光信号的光通量和所述第二光信号的光通量，检测所述待检测基板是否异常，以及，输出用于指示所述待检测基板是否异常的信号。

进一步地，上述检测方法中，所述检测模块根据所述第一光信号的光通量和所述第二光信号的光通量，检测所述待检测基板是否异常，包括：

所述检测模块获得所述第一光信号的光通量与所述第二光信号的光通量的比值；