[发明专利]加热机台

权利要求书

1.一种用于加热一基板的加热机台，该基板包含一操作区与环绕该操作 区的一非操作区，其中，该加热机台包含：

一壳体，具有一容置腔以容置该基板，该壳体包含一上盖；

一加热板，安装于该容置腔，用以承载并加热该基板；以及

一加压机构，固定于该上盖上，用以在加热该基板时施加压力于该基板的 该非操作区的至少相对两侧。

2.根据权利要求1所述的加热机台，其特征在于，该加压机构包含：

至少一对升降装置，设置于该上盖，每一该些升降装置包含一推杆；以及

多个接触头，分别设置于该些推杆的一端，用以接触该基板。

3.根据权利要求2所述的加热机台，其特征在于，该多个接触头的直径 为1毫米。

4.根据权利要求2所述的加热机台，其特征在于，该多个接触头的材料 为聚醚醚酮。

5.根据权利要求2所述的加热机台，其特征在于，该上盖包含多个上盖 孔洞，该些推杆经由通过该些上盖孔洞而使该多个接触头接触于该基板。

6.根据权利要求2所述的加热机台，其特征在于，该至少一对升降装置 的数量为二对，且该二对升降装置对称地设置。

7.根据权利要求1所述的加热机台，其特征在于，更包含：

一固定板，水平安装于该壳体内且设置于该加热板的下方；以及

多个支撑销，固定于该固定板上，该加热板包含多个加热板通孔，该些支 撑销分别穿过该些加热板通孔，用以沿垂直于该加热板的一方向移动该基板。

8.根据权利要求7所述的加热机台，其特征在于，该加压机构包含多个 接触头，用以接触该基板，每一该些支撑销的顶面积小于每一该多个接触头的 顶面积。

9.根据权利要求1所述的加热机台，其特征在于，更包含：

一移动机构，连接至该加压机构，用以调整该加压机构的位置。

10.根据权利要求1所述的加热机台，其特征在于，该基板用以作为与一 显示器的一主动元件阵列基板相对的一对向基板。