[发明专利]加热机台

说明书

技术领域

本发明是关于一种制备显示装置的治具，特别是有关于一种加热机台。

背景技术

在显示器的基板制作过程中，往往需要涂布或者贴附多种层体/膜于基板表 面，并经由加热烘烤等方式而使这些层体定型。举例而言，在光刻微影工艺中， 可以在基板表面涂布光阻液体，并烘烤而形成光刻胶层，以进行后续的光刻微 影工艺。

然而，在加热烘烤基板的过程中，容易因为基板的材料、基板上的层体图 案的布设、基板内离子的分布、基板的相对表面温度差异等其它原因，导致基 板受热翘曲。此基板暂时性翘曲容易使得基板上待烘烤定型的液体受热不均， 而有部份区域没有完全定型而附着力欠佳，造成容易剥离或无法作用。

发明内容

根据本发明的一态样提供一种用于加热基板的加热机台，基板包含操作区 与环绕操作区的非操作区。加热机台包含壳体、加热板以及加压机构。壳体具 有容置腔以容置基板，其中壳体包含上盖。加热板安装于容置腔，用以承载并 加热基板。加压机构固定于上盖上，用以在加热基板时施加压力于基板的非操 作区的至少相对两侧。

于本发明的一或多个实施方式中，加压机构包含至少一对升降装置以及多 个接触头。升降装置设置于上盖，每一升降装置包含推杆。接触头分别设置于 推杆的一端，用以接触基板。

于本发明的一或多个实施方式中，接触头的直径实质上为1毫米。

于本发明的一或多个实施方式中，接触头的材料为聚醚醚酮 (polyetheretherketone；PEEK)。

于本发明的一或多个实施方式中，上盖包含多个上盖孔洞，推杆经由通过 上盖孔洞而使接触头接触于基板。

于本发明的一或多个实施方式中，至少一对升降装置的数量为二对，且该 二对升降装置对称地设置。

于本发明的一或多个实施方式中，加热机台更包含固定板以及多个支撑销。 固定板水平安装于壳体内且设置于加热板的下方。支撑销固定于固定板上，其 中加热板包含多个加热板通孔，支撑销分别穿过加热板通孔，用以沿垂直于加 热板的方向移动基板。

于本发明的一或多个实施方式中，加压机构包含多个接触头，用以接触基 板，每一支撑销的顶面积小于每一接触头的顶面积。

于本发明的一或多个实施方式中，加热机台更包含移动机构，移动机构连 接至加压机构，用以调整加压机构的位置。

于本发明的一或多个实施方式中，基板用以作为与显示器的主动元件阵列 基板相对的对向基板。

于本发明的多个实施方式中，设计加热机台包含加压机构，其中加压机构 能够在基板受热时提供压力，以抵制基板的暂时性翘曲，进而确保基板受热均 匀与层体定型。

附图说明

图1A为根据本发明的一实施方式的加热机台于一操作阶段的立体示意图。

图1B为图1A的加热机台于另一操作阶段的立体示意图。

图2为图1A的基板的立体示意图。

图3A与图3B为根据本发明的一实施方式的加热机台与基板的侧视图。

图4为根据本发明的另一实施方式的加热机台于加压阶段的立体示意图。

其中，附图标记：

100：加热机台

110：壳体

112：容置腔

114：上盖

114a：上盖孔洞

120：加热板

122：加热板通孔

130：加压机构

132：升降装置

132a：推杆

134：接触头

140：固定板

150：支撑销

152：顶端

160：感测元件

170：计时元件

180：移动机构

200：基板

202：边缘

NA：非操作区

OA：操作区

DA：预定区域

DI：方向

具体实施方式