[发明专利]一种集成电路IGBT芯片导热硅脂的涂布方法在审
申请号: | 201511009214.6 | 申请日: | 2015-12-30 |
公开(公告)号: | CN106935514A | 公开(公告)日: | 2017-07-07 |
发明(设计)人: | 潘文斋 | 申请(专利权)人: | 青岛捷宇达电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/373 |
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地址: | 266108 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成电路 igbt 芯片 导热 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种集成电路IGBT芯片导热硅脂的涂布方法。
背景技术
导热硅脂目前被广泛使用在散热器上的IGBT安装面上,其目的在于填补各器件安装面与散热器之间的间隙,达到更均匀、更有效的散热效果,避免器件温度过高而损坏。为保证导热硅脂均匀的分布在IGBT上,其涂敷工艺至关重要。导热硅脂散热性能导热硅脂成份为硅油和填料。填料为磨得很细的粉末,成分为ZnO/Al2O3/氮化硼/碳化硅/铝粉等。硅油保证了一定的流动性,而填料填充了IGBT和散热器之间的微小空隙,保证了导热性。
散热片与IGBT之间传热主要通过传导途径,通过散热片与IGBT之间的直接接触实现。导热硅脂的意义在于填充二者之间的空隙接触处更加完全。如果硅脂使用过量,在IGBT和散热片之间形成一个硅脂层,则散热途径变为IGBT硅脂散热片。由于硅脂的导热系数约为=1~2W/(mK),而铝合金的散热片在300W/(mK)以上,在此情况下硅脂成了阻碍传热的因素。因此涂抹硅脂一定要适量,在IGBT上涂上薄薄一层就可以了,目前导热硅脂的厚度要求约100~150m(IGBT和散热器表面粗燥度要求Ra6.3m,平面度100m/100mm)。
发明内容
一种集成电路IGBT芯片导热硅脂的涂布方法,包括以下步骤:(1)IGBT安装前,用酒精将器件的安装面和散热器清洗干净;(2)将导热硅脂倒入容器内,用滚筒刷粘上导热硅脂;(3)在IGBT的安装面反复滚刷上一层导热硅脂,目测硅脂是否涂满IGBT安装面,最后再将IGBT安装在散热器上。
具体实施方式
一种集成电路IGBT芯片导热硅脂的涂布方法,包括以下步骤:(1)IGBT安装前,用酒精将器件的安装面和散热器清洗干净;(2)将导热硅脂倒入容器内,用滚筒刷粘上导热硅脂;(3)在IGBT的安装面反复滚刷上一层导热硅脂,目测硅脂是否涂满IGBT安装面,最后再将IGBT安装在散热器上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造