[发明专利]一种可变电极晶体生长炉

权利要求书

1.一种可变电极晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉至少包括：

炉筒，顶部具有炉筒口；

大盖，固定在所述炉筒口上，所述大盖具有大盖口；

小盖，紧固在所述大盖口上；

炉体电极，位于所述炉筒中且固定在所述大盖上，所述炉筒、大盖、小盖以及炉体电极中均设置有循环水通道，所述炉体电极包括一炉体整圆环电极和两个炉体半圆环电极，所述两个炉体半圆环电极非接触地设置在炉体整圆环电极的上方，且所述炉体整圆环电极及两个所述炉体半圆环电极内设置有循环水通道。

2.根据权利要求1所述的可变电极晶体生长炉，其特征在于：所述小盖上设置有籽晶杆通过孔和观察孔。

3.根据权利要求1所述的可变电极晶体生长炉，其特征在于：所述大盖通过密封胶圈密封固定在所述炉筒口上。

4.根据权利要求1所述的可变电极晶体生长炉，其特征在于：所述小盖通过紧固螺栓和密封胶圈紧固在所述大盖口上。

5.根据权利要求1所述的可变电极晶体生长炉，其特征在于：所述炉体电极上设置有固定柱，所述固定柱上设置有卡槽，所述固定柱中设置有循环水通道，所述炉体电极通过所述卡槽固定在所述大盖上。

6.根据权利要求1所述的可变电极晶体生长炉，其特征在于：所述炉筒中还设置有加热棒电极和多根加热棒，所述加热棒电极包括一加热棒整圆环电极和两个加热棒半圆环电极，所述两个加热棒半圆环电极设置在加热棒整圆环电极的上方，所述两个加热棒半圆环电极和加热棒整圆环电极之间通过绝缘隔板隔断，所述两个加热棒半圆环电极分别作为第一半圆环电极和第二半圆环电极，所述多根加热棒分列成第一组加热棒和第二组加热棒，所述第一组加热棒和第二组加热棒中的加热棒按以下连接方式交替地连接在所述加热棒整圆环电极和两个加热棒半圆环电极上：

所述第一组加热棒中的加热棒的一端与所述第一半圆环电极连接固定，另一端不接触地依次穿过所述第一半圆环电极上方的所述绝缘隔板和加热棒整圆环电极并经弯折后与所述第二半圆环电极上方的所述加热棒整圆环电极连接固定；

所述第二组加热棒中的加热棒的一端与所述第一半圆环电极上方的所述加热棒整圆环电极连接固定，另一端经弯折后不接触地依次穿过所述第二半圆环电极上方的所述加热棒整圆环电极和绝缘隔板并与所述第二半圆环电极连接固定。

7.根据权利要求6所述的可变电极晶体生长炉，其特征在于：所述加热棒整圆环电极与所述炉体整圆环电极电性连接，所述加热棒半圆环电极与所述炉体半圆环电极对应电性连接。

8.根据权利要求6所述的可变电极晶体生长炉，其特征在于：所述第一组加热棒和第二组加热棒之间交互等距分布。

9.根据权利要求6所述的可变电极晶体生长炉，其特征在于：所述加热棒与所述加热棒整圆环电极之间通过螺纹销子夹紧固定。

10.根据权利要求6所述的可变电极晶体生长炉，其特征在于：所述加热棒在垂直方向上等距均布防变形固定环，所述固定环与加热棒之间通过焊接固定。